ПУТЕВОДИТЕЛЬ ФОТОЛИТОГРАФА

БУКЛЕТ-2017 «ФОТОРЕЗИСТЫ ЖИДКИЕ ДЛЯ ЭЛЕКТРОНИКИ»

• Позитивные фоторезисты
• Импортозамещение
• Негативные фоторезисты
• Вспомогательные материалы для фотолитографии

ИНСТРУКЦИИ

• Общая инструкция по применению позитивных фоторезистов
• Общая инструкция по применению негативных фоторезистов
• Инструкция по технике взрывной фотолитографии
• Инструкция по применению проявителя буферного УПФ-1Б
• Инструкция по применению снимателя СПР-01Ф
• Инструкция по применению усилителя адгезии СИЛ-А-01
• Инструкция по применению продукта НХД-16Ф
• Инструкция по применению пигментной бумага для фотогравировки
• Установка микрофильтрации УФР-16Ф

СПРАВОЧНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

• Таблица соответствия импортных и отечественных фоторезистов
• Таблица соответствия отечественных негативных фоторезистов и проявителей
• Таблица соответствия импортных и отечественных проявителей
• Спектр поглощения позитивных фоторезистов
• Спектры излучения ртутных ламп
• Травление металлов

КАКОЙ ФОТОРЕЗИСТ ВЫБРАТЬ

• Воспроизводимый литографический процесс
• Подготовка подложки
• Нанесение фоторезиста
• Экспонирование фоторезистов
• Проявление фоторезистов
• Снятие пленок фоторезистов
• Адгезия фоторезистов
• Жидкостное травление алюминия, золота, хрома и кремния
• Электрохимическое травление и осаждение металлов
• Толстослойные фоторезисты, особенности использования
• Фоторезист для нанесения распылением
• Фоторезисты для глубокого ультрафиолета
• Пигментная бумага для фотогравировки и полная инструкция в формате ZIP
• Часто задаваемые вопросы

ДОКУМЕНТАЦИЯ

• Технические условия и сертификаты безопасностти