СТАДИЯ СНЯТИЯ ПЛЕНКИ ФОТОРЕЗИСТА ЯВЛЯЕТСЯ ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ВАЖНОЙ.

Неаккуратное снятие пленки фоторезиста приводит к образованию дефектов и снижению выхода годных изделий.

Сниматель пленок резистов в производстве полупроводниковых структур должен соответствовать определенным требованиям:

1. Разрыхлять сильно структурированную пленку.
2. Хорошо растворять компоненты структурированной пленки, не оставлять следов нерастворенных веществ на подложке.
3. Не реагировать с нанесенным металлом.
4. Обеспечивать возможность нагрева раствора до высоких температур.
5. Иметь уровень фильтрации не хуже 1 мкм

В отечественной микроэлектронике для снятия пленок позитивных фоторезистов используются в основном три типа устаревших снимателей:

• концентрированный раствор щелочи, например 3% водный раствор NaOH
• ацетон
• смесь растворителей N,N-диметилформамида и моноэтаноламина

В качестве снимателя нежелательно использовать раствор щелочи. Раствор щелочи является плохим растворителем и оставляет трудноудаляемые следы пленки на подложке.

В качестве снимателя нежелательно использовать легкокипящие растворители. Ацетон быстро испаряется и также оставляет трудноудаляемые следы пленки на подложке.

В качестве снимателя опасно использовать широко применяемую до настоящего времени смесь растворитей N,N диметилформамида и моноэтаноламина.

Ниже выдержка из сертификата безопасности на растворитель N,N-диметилформамид:

MSDS РАЗДЕЛ 3: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:
МУТАГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: является мутагеном для клеток млекопитающих.
ТЕРАТОГЕННОЕ ДЕЙСТВИЕ: воздействует на эмбриональное развитие плода. Классифицируется как токсин для репродуктивной женской системы и возможно для репродуктивной мужской системы.
ДИМЕТИЛФОРМАМИД является ядом для крови, почек, печени, центральной нервной системы. Длительное воздействие этого химиката на человека может привести к повреждениям органов.

Ниже выдержка из сертификата безопасности на растворитель Моноэтаноламин:

MSDS РАЗДЕЛ 11.5: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:
ЭМБРИОТРОПНОЕ: воздейсмтвие установлено
ТЕРАТОГЕННОЕ ДЕЙСТВИЕ: установлено.
МОНОЭТАНОЛАМИН включен в перечень потенциально опасных химических веществ по действию на репродуктивную функцию.

По указанным причинам N,N-диметилформамид и Моноэтаноламин запрещены для использования на предприятиях электроники на Западе.

Мы предлагаем более безопасный сниматель пленок позиттивных фоторезистов.

СПР-01Ф

Сниматель СПР-01Ф гарантирует эффективное удаление пленки фоторезиста с подложки с помощью процедуры четырех ванн в соответствии с инструкцией.

Сниматель пленок фоторезистов СПР-01Ф

Параметры снимателя СПР-01Ф. ТУ 2378-008-29135749-2007