![]() |
![]() ![]() |
![]() |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
||||||||||||||
![]() |
|
![]() |
||||||||||||
![]() |
![]() |
![]() |
||
![]() |
![]() |
![]() |
Спектр поглащения позитивных фоторезистовСпектры поглощения позитивных фоторезистов на основе нафтохинондиазидов качественно одинаковы в области длин волн 350-450 нм.На рисунке представлен стандартный спектр поглощения позитивных фоторезистов на примере фоторезиста ФП-383. Спектр поглощения фоторезиста наложен на спектр излучения ртутной лампы среднего давления. Линии излучения ртутных ламп высокого и сверхвысокого давления несколько уширены, но максимумы сохраняются. ![]() |
||
![]() |
||
![]() |
![]() |
![]() |
|||||||||||||
![]() |
|
![]() |
|||||||||||
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
||||
![]() |
![]() ![]() ![]() |
|
![]() |
|
![]() |
![]() |