Хром является тяжелым металлом с хорошей адгезией ко многим материалам. Поэтому в микроэлектронике хром используется и в качестве фотомаски и как промотор адгезии для последующих слоев.

Механизм травления хрома

Типичные травители хрома представляют собой смеси перхлорной кислоты HClO4 и цериевый нитрат аммония (NH4)2[Ce(NO3)6].

Перхлорная кислота является очень сильной кислотой, она почти полностью диссоциирует в водных растворах. Перхлорная кислота служит в качестве химического стабилизатора цериевого нитрата аммония (NH4)2[Ce(NO3)6]. Цериевый нитрат аммония является очень сильным окислителем. Травление хрома в этом травителе протекает по следующей химической реакции:

3Ce(NH4)2(NO3)6 + Cr = 3Cr(NO3)3+ 3Ce(NH4)2(NO3)5

Таким образом, степень окисления церия уменьшается с IV до III, тогда как степень окисления хрома повышается с II до III.

Нитрат хрома, образующийся в процессе реакции травления, оседает темной пленкой на поверхность хрома и благодаря его хорошей растворимости он переходит в раствор травителя.

Селективность

Медь, серебро и ванадий хорошо травятся в этом травителе, тогда как алюминий, титан, вольфрам и никель имеют сравнительно низкую скорость травления. Благородные металлы не чувствительны к этому травителю.

Рекомендуемый травитель

(NH4)2[Ce(NO3)6] : HClO4 : H2O = 10,9% + 4,25% + 84,85%

на основании материалов фирмы MicroChemicals