ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

УСИЛИТЕЛЬ АДГЕЗИИ ФОТОРЕЗИСТОВ СИЛ-А-01

Параметры усилителя адгезии СИЛ-А-01

No Характеристики СИЛ-А-01 Норма
1 Внешний вид Прозрачная, бесцветная жидкость
2 Температура кипения, 0C 126-146
3 Уровень фильтрации, мкм 0,2

Усилитель адгезии СИЛ-А-01 состоит из смеси растворителей гексаметилдисилазан (ГМДС) и метоксипропилацетат (МОП-ацетата). ГМДС является наиболее известным химическим соединением, увеличивающим адгезию фоторезиста при обработке поверхности подложки в парах , в токе азота при высокой температуре.

Смесь растворителей подобрана таким образом, что после обработки усилителем адгезии СИЛ-А-01 на поверхности подложки возникает мономолекулярный гидрофобный слой. Если использовать чистый ГМДС вместо СИЛ-А-01, то в идентичных условиях на поверхности подложки возникает толстый гидрофобный слой, который в дальнейших термических процессах фотолитографии разлагается с образованием газообразных продуктов, что приводит к отслаиванию пленки фоторезиста.

Преимущества:

  1. Исключение затрат на закупку специального оборудования для силилирования подложки в паровой фазе;
  2. Образование мономолекулярного гидрофобного слоя на поверхности подложки;
  3. Стабильность воспроизведения элементов топологии;
  4. Совместимость с позитивными и негативными фоторезистами;

Капля воды на поверхности окисла кремния

  1. Фото 1. Необработанная реактивом СИЛ–A-01 окисленная пластина кремния. Пластина промыта, прогрета до 200 0С и охлаждена до комнатной температуры. Видно, что капля воды растекается по поверхности подложки, что свидетельствует о высокой поверхностной энергии подложки. Адгезия пленки фоторезиста на такой поверхности может быть недостаточной.
  2. adgezia-
  3. Фото 2. Обработанная реактивом СИЛ–A-01 окисленная пластина кремния. Видно, что капля воды не растекается по поверхности. Поверхностная энергия подложки существенно снижена после обработки реактивом. Адгезия пленки фоторезиста будет высокой.
  4. adgezia+

    Инструкция по применению

    1. Подложку промыть ацетоном и изопропиловым спиртом, либо очистить технологией RCA
    2. Для удаления абсорбированной воды подложку прогреть при температуре 1200С в течение 10 минут на горячей плите или в конвекционном термошкафе при 1200С в течение 30 минут.
    3. Подложку охладить и укрепить на центрифуге. Агент СИЛ-А-01 распределить на всю площадь подложку капельным или аэрозольным способом. После этого центрифугу привести во вращение при скорости примерно 3000 об/мин в течение 30 сек.
    4. Затем подложку выдержать на горячей плите при температуре 120 0С в течение 2 мин или в конвекционном термошкафу при 130 0С в течение 10 мин; На этой стадии происходит силилирование поверхностных гидроксильных групп с образованием мономолекулярного гидрофобного слоя.
    5. Перейти к нанесению фоторезиста сразу после охлаждения подложки и далее как обычно.

    Используемое оборудование и материалы.

    Усилитель адгезии СИЛ-А-01 совместим с оборудованием, используемым при работе с фоторезистом. Рекомендуемые материалы: нержавеющая сталь, стекло, керамика, ненаполненные полипропилен, полиэтилен высокой плотности, фторопласт-4 и сополимеры на его основе.

    ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ! Усилитель адгезии СИЛ-А-01 является легковоспламеняющейся жидкостью. Гексаметилдисилазан реагирует с водой с образованием аммиака и гексаметилдисилоксана. Вреден при проглатывании. Предохранять от контакта с кожей и глазами. Не вдыхать. Хранить вдали от окислителей, источников открытого огня. Обращаться с осторожностью. При работе использовать защитные очки, перчатки резиновые, защитную одежду.

    Условия хранения.

    Хранить в сухом месте при 10÷20 0С в плотно закрытой оригинальной упаковке вдали от окислителей, тепла и источника открытого огня. Не хранить под воздействием солнечного света. Не использовать после истечения срока годности - 6 месяцев. Свойства усилителя адгезии СИЛ-А-01 медленно ухудшаются при контакте с воздухом.

    Утилизация.

    Утилизируют усилитель адгезии СИЛ-А-01 вместе с фоторезистом и другими растворителями. Утилизация совместно с домашними отходами недопустима. Не допускать попадания в канализацию.

    Внешний вид: Прозрачный раствор

    Упаковка: стеклянная бутылка ёмкостью 1 литр

    Технические условия на усилитель адгезии СИЛ-А-01
    Паспорт безопасности на усилитель адгезии СИЛ-А-01
---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG