Благодаря высокой электропроводности алюминий используется в качестве проводника в микроэлектронике либо в чистом виде, либо в виде сплавов.

Алюминий не принадлежит к благородным металлам. Однако из-за образования на поверхности очень тонкой (несколько нм) пленки окиси алюминия (Al2O3) алюминий становится инертным к воздействию многих агрессивных веществ. По этой причине травители алюминия должны содержать как вещества, растворяющие окись алюминия Al2O3, так и вещества растворяющие алюминий.

Механизм травления алюминия

Типичные травители алюминия представляют смеси, содержащие 1-5 % азотной кислоты (HNO3) (для окисления алюминия), 65-75 % фосфорной кислоты (H3PO4) (для растворения Al2O3), 5-10% уксусной кислоты (CH3COOH)(для смачивания и буферизации) и H2O для регулирования скорости травления.

Реакция травления алюминия является сильно экзотермической и изотропной, что с неизбежностью приводит к подтравливанию подложки под резистивной маской.

Обычно травление начинается после растворения ортофосфорной кислотой (H3PO4) слоя окиси алюминия, который присутствует на любой поверхности алюминия.

Скорость травления и селективность

Селективность: большинство травителей алюминия воздействуют на медь сильнее, чем на алюминий. Скорость травления никеля ниже, чем алюминия. Титан, хром и серебро слабо реагируют в травителях для алюминия, на благородные металлы золото или платина алюминиевые травители не воздействуют.

Рекомендуемый травитель для алюминия:

H3PO4 : HNO3 : CH3COOH : H2O = 73% : 3,1% : 3,3% : 20,6%

Скорость травления алюминия сильно зависит от температуры, что видно из следующего графика:

    Зависимость скорости травления Al от температуры.

на основании материалов фирмы MicroChemicals