В отечественных установках экспонирования жидких фоторезистов используются в основном ртутные или ртутно- галоидные шаровые лампы, спектр излучения которых представлен на графике 1. В таблице 1 приведены ориентировочные данные по энергии излучения этих ламп на длинах волн i-линии, h- линии и g- линии. На рис.2 представлен спектр излучения трубчатых ртутных ламп типа ДРГТ и ДРТИ. Спектры излучения импортных ртутных ламп представлены на рис. 3.


Рисунок 1 Спектр излучения ртутных шаровых ламп


Таблица 1. Энергии излучения ртутных шаровых ламп на длинах волн i-, h- и g- линий

Модель лампы Диапазон 360÷370 нм Диапазон 400÷410 нм Диапазон 430÷400 нм
ДРШ 350-1М (мкВт/см2) 135 75 118
ДРШ 500М (мкВт/см2) 220 100 160
ДРКс 500М (мкВт/см2) 200 85 130
ДРКс 1500М (мкВт/см2) 470 230 360


Рисунок 2 Спектр излучения трубчатых ртутных ламп типа ДРГТ и ДРТИ


Рисунок 3 Спектры излучения импортных ртутных ламп