В отечественных установках экспонирования жидких фоторезистов используются в основном ртутные или ртутно- галоидные шаровые лампы, спектр излучения которых представлен на графике 1. В таблице 1 приведены ориентировочные данные по энергии излучения этих ламп на длинах волн i-линии, h- линии и g- линии. На рис.2 представлен спектр излучения трубчатых ртутных ламп типа ДРГТ и ДРТИ. Спектры излучения импортных ртутных ламп представлены на рис. 3.

Рисунок 1 Спектр излучения ртутных шаровых ламп

Таблица 1. Энергии излучения ртутных шаровых ламп на длинах волн i-, h- и g- линий

Рисунок 2 Спектр излучения трубчатых ртутных ламп типа ДРГТ и ДРТИ

Рисунок 3 Спектры излучения импортных ртутных ламп