ФОТОРЕЗИСТ ФП-383-К окрашенный
ТУ 2378-005-29135749-2007
Область применения
ФП-383 –К – это окрашенный позитивный фоторезист, который рекомендуется использовать при фотолитографии на поверхностях, где пленка стандартного фоторезиста ФП-383 малозаметна. Фоторезист ФП-383-К, обеспечивает цветное, сине-зеленое, визуально хорошо заметное изображение на различных подложках. Остальные параметры фоторезиста ФП-383К идентичны параметрам стандартного фоторезиста ФП-383.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
№ п/п | Наименование показателя | Норма |
1 | Внешний вид фоторезиста | Прозрачная жидкость сине-зеленого цвета |
2 | Внешний вид пленки фоторезиста | Гладкая, блестящая, без разрывов, сине-зеленого цвета |
3 | Уровень фильтрации, мкм | 0,2 |
4 | Толщина пленки фоторезиста при 3000 об/мин, мкм | 1,0-1,2 |
5 | Разрешающая способность, мкм | 1,0 |
6 | Кинематическая вязкость, сСт | 6,0-6,5 |
7 | Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее | >15 |
8 | Рекомендуемый проявитель | УПФ-1Б |
9 | Рекомендуемый сниматель | СПР-01Ф |
10 | Усилитель адгезии | СИЛ-А-01 |
