Фоторезист ФП-25

ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ ФП-25

Наиболее известный отечественный толстослойный фоторезист ФП-25, который  обеспечивает высококачественную защиту подложки в процессах глубинного и профильного травления германия и кремния до 100 мкм, а также при гальваническом осаждении металлов.

Фоторезист ФП-25 обладает исключительно высокой адгезией и с трудом подается снятию с подложки после термообработки при температурах свыше 150 ⁰С.

В статье «Маскирующие свойства фоторезистов ФП-25 и AZ4562 при плазмохимическом травлении», Воронкова О.А. Посыпкин О.Е. Гудкова Н.Б., ЭЛЕКТРОНИКА И МИКРОЭЛЕКТРОНИКА СВЧ, 2021, Том 1, стр 26-29 проведено сравнение маскирующих свойств фоторезистов AZ 4562 и ФП 25. Показано, что скорость травления при ПХТ и исходные толщины фоторезистов одинаковы. Таким образом фоторезист ФП-25 может заменить при ПХТ процессах труднодоступный зарубежный толстослойный фоторезист AZ-4562 компании Merck (США). Эта публикация увеличила интерес к фоторезисту ФП-25.

Рекомендации по применению

Подготовка поверхности

Для удаления воды с поверхности подложку следует непосредственно перед нанесением фоторезиста прогреть при 200 ⁰С в течение 30 минут и охладить до комнатной температуры.

Условия применения:

Нанесение

1. Распределить 5-10 мл фоторезиста на поверхности и дать растечься в течение 10 сек максимум.
2. Привести во вращение центрифугу. Центрифуга должна обеспечивать достижение скорости вращения 2000 об/мин максимум за 0,3 сек. Время центрифугирования составляет 100-120 сек.

Предварительная сушка

Рекомендуются сушка в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 90 ⁰С, с контролем температуры в пределах + 1 ⁰С. Время выдержки: 40 мин.

На промышленных линиях фотолитографии следует подобрать скорость и температуру конвейера так, чтобы обеспечить условия, эквивалентные конвекционному термошкафу.

Экспонирование

Экспонирование ультрафиолетовой лампой в диапазоне 350-450 нм. Время экспонирования: 90-120 сек при освещенности 45.000+50.000 люкс

Проявление

Рекомендуется проявитель УПФ-1Б для максимального контроля над процессом.

Термообработка после проявления

Рекомендуются термозадубливание в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 120 - 125 ⁰С. Время выдержки: 30 мин. Для более сильных травителей возможно повышение температуры задубливания до 140 ⁰С.

Удаление

Для удаления пленки фоторезиста ФП-25 рекомендуется экологически безопасный сниматель СПР-01Ф или кислородная плазма.

Меры предосторожности

Хранение

Хранить в сухом помещении при температурах 10-21 ⁰С в закрытых коричневых стеклянных бутылках. Гарантийный срок хранения - 6 месяцев от даты розлива