Под термином фоторезист понимается светочувствительный раствор или полимерная пленка, которая под воздействием света меняет свои физико-химические свойства и приобретает устойчивость к химическому воздействию агрессивных жидкостей.
Развитие современной электроники, средств связи, спутников, телевидения, компьютеров, интернета невозможно представить без применения фоторезистов. Фоторезист - один из ключевых материалов микро- и радиоэлектроники.
Необходимо различать жидкие и сухие пленочные фоторезисты. Жидкий фоторезист - это раствор полимера и светочувствительного соединения в органическом растворителе. Сухой пленочный фоторезист - это пленка, состоящая из нескольких полимерных слоев. Основное различие этих двух типов фоторезистов заключается в максимально достижимом разрешении элементов изображения.
Стандартное разрешение сухих пленочных фоторезистов находится в пределах 50-250 мкм. Поэтому основное их применение – это изготовление печатных плат.
Жидкие фоторезисты обеспечивают разрешение линий от нано- (7 нанометров) до микро- диапазона (10 микрон). Например, процессоры в современных смартфонах iPhone или Samsung выполнены по технологии 7 нанометров.
Наша компания, большое внимание уделяет экологической безопасности фоторезистов. Не является секретом, что предприятия электроники Запада полностью перешли на использование экологически безопасных материалов для фотолитографии еще в начале 80-х годов прошлого века. Мы попытались наверстать упущенное время, и предлагаем нашим потребителям новые классы фоторезистов под маркой «эко» и «экстра» на основе модифицированных составов широко известных наименований отечественных фоторезистов. Фоторезисты класса «эко» и «экстра» не содержат опасные для здоровья людей химические реактивы.
Наши разработки аналогичны жидким фоторезистам и проявителям западных фирм. Актуальность этих разработок очевидна из-за введенных западными странами ограничений на экспорт в Россию материалов и оборудования двойного назначения. Эти ограничения уже привели к тому, что цены на западные фоторезисты возросли на российском рынке в четыре – пять раз. На некоторые фоторезисты вообще наложен запрет на их экспорт в Россию.
Наши аналоги по параметрам практически не отличаются от западных фоторезистов а цены значительно ниже. Ряд отечественных предприятий микроэлектроники провели успешное опробование наших аналогов фоторезистов и уже перешли на их использование взамен импортных материалов.
КАКОЙ ФОТОРЕЗИСТ ВЫБРАТЬ?
Фотолитографические характеристики различных марок фоторезистов во многих случаях совпадают. Выбор оптимальной марки фоторезиста является непростой задачей даже для опытного фотолитографа.
Важно понимать, что подбор фоторезиста производится непосредственно под конкретную технологию. Для этого нужно хорошо представлять физико-химические параметры фоторезистов, влияющие на фотолитографические процессы.
Содержание микрочастиц в растворе фоторезиста.
Этот параметр сильно влияет на выход годных изделий, поскольку микрочастицы в растворе фоторезиста создают дефекты в пленке фоторезиста после нанесения на подложку. Содержание механических примесей в фоторезисте определяется двумя факторами:
• Качеством фильтрации.
• Стабильностью раствора фоторезиста в процессе хранения.
Степень фильтрации фоторезиста на уровне 0,2 мкм обеспечивается технологическим оборудованием. Более сложной является проблема появления микронных взвесей в растворе фоторезиста в процессе хранения. Эта проблема не имеет простого решения. Здесь требуется применение высококачественного исходного сырья, использование специальных стабилизаторов, антиокислителей, деаэраторов и др. Об уровне стабильности раствора фоторезиста можно судить по сроку гарантийного хранения.
По стабильности характеристик фоторезисты, поставляемые нашим предприятием, соответствуют западным стандартам. Срок гарантии в большинстве случаев составляет 12 месяцев.
1. Воспроизводимость параметров фоторезиста от партии к партии.
Этот фактор обеспечивает стабильность производственного процесса.
2. Обеспеченность вспомогательными материалами.
Мы поставляем потребителям в комплекте с фоторезистами фирменные проявители, сниматели, разбавители, адгезивы. Использование вспомогательных растворов позволяет упростить и стандартизировать технологические стадии фотолитографического процесса.
3. Цена фоторезиста
В общем случае затраты на фоторезист в микроэлектронике редко превышают 5% от стоимости конечного изделия. По этой причине цена фоторезиста слабо влияет на цену произведенной интегральной схемы или транзистора. Так, например, если цена фоторезиста уменьшается в два раза, то цена конечного изделия уменьшается максимум на 2,5%. В то же время, если выход годных изделий уменьшается в два раза из-за нестабильного фоторезиста, то цена конечного изделия возрастает уже на 200%!
4. Экология и охрана труда.
С ужесточением требований по экологии и охране труда важным фактором становится совершенствование химического состава фоторезистов и комплектующих материалов. В частности на предприятиях электроники Запада не разрешается использование в составах композиций таких опасных реактивов как N,N - диметилформамид, 1,4-диоксан, фенол, моноэтаноламин и др. Мы рекомендуем использовать наши фоторезисты класса эко или экстра.
