Рекомендации по работе с ФП-383

Один из лучших позитивных фоторезистов для процессов жидкостного травления в микроэлектронике. Превосходит по устойчивости в жидкостных травителях все существующие на рынке отечественные и импортные фоторезисты. Обладает высокой адгезией ко всем полупроводниковым и металлическим поверхностям. Не требует обработки поверхности промотором адгезии.

Фоторезист может использоваться как для контактной, так и для проекционной фотолитографии. Имеет превосходный контраст и светочувствительность.

Рекомендации по применению

Подготовка поверхности

Для удаления воды с поверхности подложку следует непосредственно перед нанесением фоторезиста прогреть при 200 0С в течение 30 минут и охладить до комнатной температуры.

Условия применения:

Нанесение

  1. Распределить 1-2 мл фоторезиста на поверхности и дать растечься в течение 2 сек максимум.
  2. Привести во вращение центрифугу. Центрифуга должна обеспечивать достижение скорости вращения 3000 об/мин максимум за 0,3 сек. Время центрифугирования составляет 25-30 сек.

Толщина пленки фоторезиста в зависимости от скорости вращения:

Зависимость толщины от частоты вращения

Предварительная сушка

Рекомендуются сушка в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 95 0С, с контролем температуры в пределах + 1 0С. Время выдержки: 30 мин.

На промышленных линиях фотолитографии следует подобрать скорость и температуру конвейера так, чтобы обеспечить условия, эквивалентные конвекционному термошкафу.

Экспонирование

Экспонирование ультрафиолетовой лампой в диапазоне 350-450 нм.

Проявление

Рекомендуется проявитель УПФ-1Б для максимального контроля над процессом.

Термообработка после проявления

Термообработка необходима для увеличения стойкости пленки фоторезиста в процессах жидкостного и сухого травления.

Рекомендуются термозадубливание в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 120 - 125 0С. Время выдержки: 30 мин. Для более сильных травителей возможно повышение температуры задубливания до 145 0С.

Удаление

Для удаления пленки фоторезиста ФП-383 рекомендуется экологически безопасный сниматель СПР-01Ф или кислородная плазма.

Меры предосторожности

В соответствии с сертификатом безопасности.

Хранение

Хранить в сухом помещении при температурах 10-21 0С в закрытых коричневых стеклянных бутылках. Гарантийный срок хранения - 12 месяцев от даты розлива.