ФП-2520 AZ-1518

Фоторезист ФП-2520, также как AZ 1518 предназначен как для жидкостных, так и сухих процессов травления подложки.

Сравнительная таблица характеристик

N п/п Характеристика Фоторезист отечественный ФП-2520 Фоторезист импортный AZ 1518
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость желто-коричневого цвета Жидкость желто-коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста блестящая без разрывов блестящая без разрывов
3 Уровень фильтрации 0,2 0,2
4 Толщина пленки фоторезиста, мкм 2,10 ± 3% 2,08 ± 3%
5 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000 3000
6 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее >45 >45
7 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б или AZ 726 MIF AZ 726 MIF
8 Растворитель Метоксипропилацетат Метоксипропилацетат
9 Сниматель СПР-01Ф AZ 100 Remover
10 Спектральная светочувствительность, нм 310 - 440 310 - 440
11 Содержание микропримесей металлов, ppb менее 100 менее 100