Экспертная группа нашего предприятия подготовила и передала ГНЦ "МНПО НИОПИК" базовый вариант паспорта инвестиционного проекта:

"Реконструкция и техническое перевооружение цеха опытного завода ФГУП "ГНЦ "НИОПИК" с целью создания производства для импортзамещения фоторезистов".

Для импортзамещения фоторезистов, являющихся особо чистыми материалами для электроники, необходимо обеспечить четыре необходимых условия:

  1. Соответствие чистоты
  2. Соответствие параметров и их воспроизводимости.
  3. Регулярность поставок.
  4. Более низкая цена.

Цена фоторезиста поставлена на 4-ое место по значимости. Действительно, доля стоимости фоторезиста в стоимости интегральной схемы (ИС) не превышает 1-2%. При стоимости ИС, скажем 10 USD, доля стоимости фоторезиста в производстве этой ИС составляет максимум 2%, т.е. 20 центов. Уменьшение стоимости фоторезиста в два раза уменьшит стоимость ИС на 10 центов.

Совершенно иначе обстоит дело с со стабильностью параметров и уровнем чистоты фоторезиста (качество фильтрации, содержание микропримесей металлов, класс чистоты исходного сырья и производственных помещений). Чистота фоторезиста в значительной степени определяет выход годных изделий. Так при падении выхода годных изделий в два раза стоимость ИС возрастет также в два раза.

Чистота и воспроизводимость параметров фоторезистов базируются на аппаратурном оформлении производства и уровне операционного контроля над производством. Все это требования стандарта ISO-9001.

Времена небольших коллективов химиков-технологов, которые "варили в котле" фоторезист, а затем этот фоторезист предприятия микроэлектроники сутками фильтровали у себя на производстве в чистых помещениях, эти времена безвозвратно уходят.

Мы желаем успехов новому руководству ГНЦ "МНПО НИОПИК", которое в условиях острого дефицита средств на финансирование науки и производства предпринимает все усилия для развития технической базы. На наш взгляд, однако, для реализации подобных проектов помимо обновления технической базы необходимы структурные реформы.

Наше предприятие продолжает разработки аналогов импортных фоторезистов наиболее распространенных в стране:

  1. Серии позитивных фоторезистов Microposit 1800
  2. Серии позитивных фоторезистов Megaposit SPR 220
  3. Серии позитивных фоторезистов AZ 1500
  4. Серии позитивных фоторезистов AZ 4500
  5. Серии позитивных фоторезистов серии HiPR 6500

Разработку рецептуры этих фоторезистов планируется завершить к середине 2015 года. Выпуск лабораторных партий новых фоторезистов будет начат осенью 2015 г. Из-за ограниченности ресурсов сроки промышленного освоения производства фоторезистов подобного уровня остаются под вопросом. Необходимы капитальные вложения.