Один из лучших отечественных фоторезистов ФП-383 по ТУ 2378-005-29135749-2007 выпускается с 2007 года.
Потребительские свойства современного фоторезиста ФП-383 кардинально отличаются от характеристик прежнего аналога,
разработанного в 60-ые годы прошлого века. Так, например, разрешающая способность возросла в 2 раза, контраст фоторезиста возрос в 10 раз,
гладкость пленки увеличилась в 10 раз, стабильность при хранении в два раза.
Для полной реализации всех возможностей фоторезиста ФП-383 рекомендовано использовать в качестве проявителя буферный щелочной раствор УПФ-1Б
(ТУ 2378-005-29135749-2007, пункт 4.5.2.1.)
Многие предприятия страны полностью перешли на использование универсального, буферного проявителя УПФ-1Б
по ТУ 2378-007-29135749-2007
И экономические и технологические соображения свидетельствуют в пользу применения в качестве проявителя УПФ-1Б. Так, из одного литра
концентрированного раствора УПФ-1Б получается пять (!) литров готового проявителя для фоторезиста ФП-383, что сопоставимо или дешевле цены
самостоятельного изготовления щелочного проявителя на предприятии.
Однако проведенный нами опрос ряда предприятий электроники выявил, что для проявления фоторезиста ФП-383 нередко используются по старинке
растворы на основе едкого калия, едкого натра или трифосфата натрия. При этом содержание основного вещества в растворе практически нигде
не контролируется титрованием.
Мы хотим заявить следующее. Мы гарантируем потребительские свойства фоторезиста ФП-383 при использовании только фирменного проявителя УПФ-1Б.
Наши покупатели могут по-прежнему применять щелочные растворы собственного приготовления, однако, они не могут обеспечить воспроизводимость
и реализацию всех возможностей фоторезиста ФП-383.
Мы рекомендуем всем предприятиям внести соответствующие изменения в технологические карты.
Параметры наших фоторезистов мы приводим к международным стандартам.
|