ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

Проявители: хранение и истощение

Старение проявителей (водных растворов щелочей) происходит вследствие поглощения CO2 из воздуха, вследствие этого скорость проявления, например в стандартном растворе 1% КОН, падает. Поэтому приготовленный проявитель следует хранить в плотно закрытом сосуде. Проявители, которыми комплектуются фоторезисты, являются буферными растворами, например проявитель УПФ-1Б. Этот проявитель подавляет уменьшение значения рН, вследствие поглощения CO2 из воздуха, что позволяет сохранить постоянную скорость проявления в течение длительного времени.

Истощение проявителя является следствием не только поглощения CO2 из воздуха, но также из-за накопления в проявителе растворенного (проявленного) резиста. Существует простое эмпирическое правило: при растворении в одном литре проявителя одного грамма резиста скорость проявления падает на 10% и проявитель следует сменить. В таблице 1 представлено предельное количество пластин, которое можно проявить в 1 литре проявителя для разных марок фоторезистов и диаметров пластин. При растворении в 1 литре проявителя примерно 10 грамм резиста скорость проявления становится равным нулю.

Таблица 1

Допустимое количество пластин, которые могут быть проявлены в 1 литре проявителя.

Марка фоторезиста Количество пластин,  шт.
Диаметр пластин, мм
76 100
ФП-383 400 250
ФП-25 60 35
ФП-15Ф 290 170

Концентрация проявителя и селективность

Отношение скоростей  растворения экспонированной и не экспонированной пленки фоторезиста носит название селективность проявления. Селективность проявления определяет один из важнейших параметров фоторезиста - контраст проявления. В свою очередь контраст проявления сильно зависит от концентрации проявителя. Поэтому, используя проявитель УПФ-1Б при разных разбавлениях, можно достигнуть высокой скорости проявления при разумном контрасте изображения.

Температурная зависимость

Температурная зависимость скорости проявления зависит от энергии активации диффузии проявителя в пленку резиста и химических реакций, вовлеченных в проявление. Целесообразно поддерживать температуру постоянной, при пониженных температурах лучше использовать буферный проявитель УПФ-1Б.

Доза экспонирования и скорость проявления

Входящий в состав позитивных фоторезистов хинондиазид-сульфонат ингибирует растворение пленки в щелочных растворах на 1-2 порядка величины. Наоборот продукт фотореакции инденкарбоновая кислота повышает скорость растворения пленки примерно на ту же величину.

Для тонких пленок (1-2 мкм, фоторезист ФП-383) свет при экспонировании проникает на всю толщину пленки и после определенной дозы пленка фоторезиста проявляется с высокой скоростью. Дальнейшее увеличение дозы экспонирования практически не влияет на скорость проявления. Однако для толстых пленок (фоторезисты ФП-25, ФП-201) ситуация совершенно другая. Экспонирующий свет не проникает на всю глубину пленки. Существует граничная доза экспонирования в процессе которой происходит постепенное обесцвечивание пленки в полосе поглощения в результате фотохимической реакции. До определенной дозы экспонирования резист невозможно проявить до подложки.

Универсальный буферный концентрированный проявитель УПФ-1Б

Отзывы потребителей проявителя УПФ-1Б

Достоинства:

  1. Используется для проявления любых позитивных фоторезистов как отечественного, так и импортного производства, например ФП-383, ФП-25, ФП-9120, S1813, S1818, AZ и т.д.
  2. Обеспечивает воспроизводимость стадии проявления. Выявляет недостаточность дозы экспонирования, например в результате ухудшения параметров ультрафиолетовой лампы.
  3. Поддерживает концентрацию проявляющего раствора в процессе работы.
  4. Обеспечивает приготовление готового проявителя в любых необходимых для работы объемах.
  5. Хорошо работает при более низких температурах, чем стандартные проявители.
  6. Отсутствует перепроявление критичных элементов изображения.
  7. Обеспечивает мягкое проявление, с ровными и четкими краями рисунка.
  8. Гарантирует чистоту проявления. Проявитель УПФ-1 отфильтрован через фильтр с размером пор 1 мкм.
  9. Сохраняет стабильность своих характеристик в течение одного года.

Преимущества:

  1. Отсутствует необходимость закупок и хранения едких и гигроскопичных химических проявляющих реактивов.
  2. Отсутствует необходимость поверки весов и титратора, наличия пипеток, бюреток, стандартных титров и многого другого.
  3. Проявитель УПФ-1 приготовлен профессиональными химиками, он постоянно свежий в течение всего срока хранения. Достаточно его просто разбавить дистиллированной или деионизованной водой.

Способ применения:

Проявитель УПФ-1Б является концентратом. Для работы проявитель необходимо разбавить дистиллированной или деионизованной водой в соотношении указанном в таблице 2.

Степень разбавления проявителя УПФ-1Б для работы с позитивными фоторезистами.

Таблица 2

No Марка фоторезиста Объем воды на 1 л проявителя, в л
1 ФП-383 4
2 ФП-10Ф/15Ф/20Ф 3
3 ФП-25 4
4 ФП-4-04мА 3
5 ФП-4-04мВ 3
6 ФП-9120 5
7 ФП-617 5
8 ФП-РН7С 3
9 ФП-05Ф 3
10 ФП-051Ку 3
11 ФП-051Ту 3
12 ФП-27-18БС 3
13 ФП-051Шу 3
14 PositivResist 3
15 AZ-1350 H 4
16 AZ-1450 J 4
17 AZ-1500 4
18 AZ-4500 4
19 S 1810 3
20 S 1813 3
21 S 1818 3
22 S 1828 3
23 SPR220 6

 

Внешний вид:

Прозрачный водный раствор

Безопасность:

Проявитель УПФ-1Б ─ по пожароопасности и гигиеническим характеристикам является аналогом "стандартного" проявителя (раствора КОН) для производств микроэлектроники.

Упаковка коммерческая:

Полиэтиленовые канистры 5 литров, возможна поставка в 1 и 10 литровые канистры.

Документация:

ТУ 2378-007-29135749-2007

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG