Универсальный буферный проявитель УПФ-1Б

Параметры проявителя УПФ-1Б. ТУ-2378-007-29135749-2007

Область применения:

Проявитель УПФ-1Б предназначен для проявления пленок позитивных фоторезистов как отечественного, так и импортного производства. Проявитель УПФ-1Б является концентратом, который разбавляется деионизованной водой.

Достоинства:

• Используется для проявления любых стандартных позитивных фоторезистов как отечественного, так и импортного производства
• Обеспечивает стабилизацию стадий проявления и экспонирования.
• Автоматически поддерживает концентрацию проявляющего вещества постоянной в процессе работы.
• Хорошо работает как при низких, так и при высоких температурах.
• Обеспечивает мягкое проявление, с ровными и четкими краями рисунка.
• Гарантирует чистоту проявления. Проявитель УПФ-1 отфильтрован через фильтр с размером пор 1 мкм.
• Сохраняет стабильность своих характеристик в течение одного года.

Экономика:

• Проявитель УПФ-1Б является концентратом, требующим разбавления деионизованной водой. Из одного литра концентрированного проявителя УПФ-1Б получается 5 (!) литров готового проявителя для фоторезиста ФП-383.
• Исключаются затраты на приобретение и хранение опасных и гигроскопичных химикатов.
• Исключаются затраты на закупку оборудования и приборов для контрольного титрования приготовленного проявителя.
• Исключаются затраты на содержание высококвалифицированного химика.
• Сводится к минимуму человеческий фактор. Возрастает выход годных изделий.
• Полиэтиленовые канистры на 5 литров.

Проявители: хранение и истощение

Старение проявителей (водных растворов щелочей) происходит вследствие поглощения CO₂ из воздуха, вследствие этого скорость проявления, например в стандартном растворе 1% КОН, падает. Поэтому приготовленный проявитель следует хранить в плотно закрытом сосуде. Проявители, которыми комплектуются фоторезисты, являются буферными растворами, например проявитель УПФ-1Б. Этот проявитель подавляет уменьшение значения рН, вследствие поглощения CO₂ из воздуха, что позволяет сохранить постоянную скорость проявления в течение длительного времени.

Истощение проявителя является следствием не только поглощения CO₂ из воздуха, но также из-за накопления в проявителе растворенного (проявленного) резиста. Существует простое эмпирическое правило: при растворении в одном литре проявителя одного грамма резиста скорость проявления падает на 10% и проявитель следует сменить. В ниже приведенной таблице представлено предельное количество пластин, которое можно проявить в 1 литре проявителя для разных марок фоторезистов и диаметров пластин. При растворении в 1 литре проявителя примерно 10 грамм резиста скорость проявления становится равным нулю.

Допустимое количество пластин, которые могут быть проявлены в 1 литре проявителя.

Концентрация проявителя и селективность

Отношение скоростей  растворения экспонированной и не экспонированной пленки фоторезиста носит название селективность проявления. Селективность проявления определяет один из важнейших параметров фоторезиста - контраст проявления. В свою очередь контраст проявления сильно зависит от концентрации проявителя. Поэтому, используя проявитель УПФ-1Б при разных разбавлениях, можно достигнуть высокой скорости проявления при разумном контрасте изображения.

Температурная зависимость

Температурная зависимость скорости проявления зависит от энергии активации диффузии проявителя в пленку резиста и химических реакций, вовлеченных в проявление. Целесообразно поддерживать температуру постоянной, при пониженных температурах лучше использовать буферный проявитель УПФ-1Б.

Доза экспонирования и скорость проявления

Входящий в состав позитивных фоторезистов хинондиазид-сульфонат ингибирует растворение пленки в щелочных растворах на 1-2 порядка величины. Наоборот продукт фотореакции инденкарбоновая кислота повышает скорость растворения пленки примерно на ту же величину.

Для тонких пленок (1-2 мкм, фоторезист ФП-383) свет при экспонировании проникает на всю толщину пленки и после определенной дозы пленка фоторезиста проявляется с высокой скоростью. Дальнейшее увеличение дозы экспонирования практически не влияет на скорость проявления. Однако для толстых пленок (фоторезисты ФП-25, ФП-201) ситуация совершенно другая. Экспонирующий свет не проникает на всю глубину пленки. Существует граничная доза экспонирования в процессе которой происходит постепенное обесцвечивание пленки в полосе поглощения в результате фотохимической реакции. До определенной дозы экспонирования резист невозможно проявить до подложки.

Способ проявления

Проявитель УПФ-1Б является концентратом. Для работы проявитель необходимо разбавить дистиллированной или деионизованной водой в соотношении указанном в ниже приведенной таблице

Степень разбавления проявителя УПФ-1Б для работы с позитивными фоторезистами.

Безопасность:

Проявитель УПФ-1Б ─ по пожароопасности и гигиеническим характеристикам является аналогом "стандартного" проявителя (раствора КОН) для производств микроэлектроники.

Упаковка коммерческая:

Полиэтиленовые канистры 5 литров, возможна поставка в 1 и 10 литровые канистры.

Документация:

ТУ 2378-007-29135749-2007

Отзывы потребителей проявителя УПФ-1Б