Ижевский механический завод

Проявитель фоторезистов УПФ-1Б

ООО НПФ "Микротехнология" г. Дубна

Цель: сравнение проявителя УПФ-1Б с раствором проявления Na₃PO₄*12H₂O

Испытания проводились на фоторезисте ФП-383

Вывод:

• Проявитель УПФ-1Б обладает высоким качеством проявления рисунка, обладает способностью проявлять локальные утолщения пленки фоторезиста (сгустки, наплывы), образовавшиеся при нанесении. Он обеспечивает более высокое качество проявления, чем используемый на нашем предприятии для проявления раствор натрия фосфорнокислого.
• Упрощает процесс приготовления проявителя.

Наши комментарии: Раствор Na₃PO₄ в воде является стандартным проявителем для фоторезиста ФП-383 по ТУ 6-14-632-86, но это разработка 80 г.г. прошлого века. Проявитель УПФ-1Б и современный состав фоторезиста ФП-383 обеспечивают разрешение до 0,5 мкм и вертикальность стенок элементов.

ОАО "Азовский оптико-механический завод" г. Азов

Испытания проводились на фоторезисте ФП-383

В процессе работы выяснилось что:

• УПФ-1Б легко приготовить в любых необходимых количествах
• Не требуется дополнительного фильтрования
• Проявитель работает при более низких, чем традиционных раствор, температурах, что особенно актуально в холодное время года
• Скорость проявления хорошая
• Нет перепроявления даже при малых размерах изображения
• Край рисунка ровный, четкий
• После использования проявителя фоторезист глянцевый, без разрушения

Особо отмечаем, что в процессе работы хорошо поддерживается концентрация проявляющего раствора.

Наши комментарии: По отзыву видна высокая квалификация специалистов Азовского оптико-механического завода и неплохое аппаратурное оснащение. Хочется отметить - пункт 3, который мы не еще исследовали. Этот эффект известен для щелочных буферных растворов - при понижении температуры - равновесие сдвигается в сторону увеличения рН раствора и скорость проявления не ухудшается.

ФГУП "НИИЭМП" г. Пенза

Испытания проводились на фоторезисте ФП-383

Качество и технические характеристики предложенного Вами проявителя аналогичны используемому в нашем производстве 2% Na₃PO₄ или 0,5% КОН.

ФГУП "НПП "Исток" г. Фрязино

При испытаниях получены положительные результаты. Мы готовы использовать предлагаемый проявитель в нашем производстве.

Наши комментарии: Высокий профессионализм сотрудников НПП "Исток" нам хорошо известен, но приятно удивили деловые качества. Это первое предприятие, которое стало использовать в производстве проявитель УПФ-1Б

ОАО "Литфонон" г. Москва

Испытания проводились на фоторезисте ФП-383

Проявитель удобен в работе

ОАО "Завод электронной техники" г.Ижевск

Испытания проводились на фоторезистах ФП-383, ФП-617 и ФП-2550

Результаты испытаний положительные

ЗАО НПП "Далекс" г. Александров

Испытания проводились на фоторезисте ФП-25РП. Проявитель был приготовлен по рекомендации для ФП-25 разбавлением деионизированной водой.

Ожидали, что при проявляющие способности УПФ-1Б не ниже используемого 0,9% КОН.

Получили, что при одинаковых условиях нанесения и экспонирования ФП-25РП за время проявления стандартным проявителем, опробуемый проявитель УПФ-1Б проявляет только верхний слой фоторезиста, тем самым увеличивая время проявления в несколько раз.

В итоге опробования проявителя УПФ-1Б не обнаружено никаких преимуществ перед стандартно используемым проявителем.

Наши комментарии: Раствор 0,9% КОН в воде не является стандартным проявителем для фоторезиста ФП-25. Использование 0,9% концентрации КОН для проявления фоторезиста ФП-25РП может быть оправдано, поскольку этот фоторезист несколько отличается от фоторезиста ФП-25 по своим характеристикам. Следовало в данном случае несколько скорректировать степень разбавления концентрированного проявителя УПФ-1Б, например, в соотношении 1:3,5.

ФГУП "ВНИИ "Сигнал" г. Ковров

Испытания проводились на фоторезистах ФП-9120-1 и ФП-2550

При разбавлении проявителя УПФ-1Б по Вашей рекомендации получены следующие результаты:

• ФП-9120-1 проявляется за 8-15 секунд
• ФП-2550 проявляется за 2 минуты или совсем не проявляется

При увеличении концентрации проявителя в 2 раза для фоторезиста ФП-2550 время проявления сократилось до 8-15 секунд, и качество проявления стало соответствовать требованиям КД и ТД

ФГУП "Государственный Рязанский Приборный Завод" г. Рязань

Испытания проводились на фоторезисте ФП-383

Результаты и отзывы исполнителей положительные.

ЗАО НПЦ "Алмаз-Фазатрон" г.Саратов

Опробование универсального проявителя для фоторезистов УПФ-1Б в технологии изготовления микрополосковых плат дало положительные результаты.

ЗАО "НПП "Планета-Аргал" г. В. Новгород

Направленый Вами проявитель УПФ-1Б в количестве 1 кг опробыван на технологической операции проявления фоторезистов отечественного (ФП-9120, ФП-051Ку) и импортного (S1813, S1818) производства.

В ходе опробования проявитель УПФ-1Б обеспечил все требования технологической документации, чистоту проявления поверхности и хорошую воспроизводимость.

ЗАО СПК-17 г. Брянск

Проявитель разводили деионизированной водой в соотношении 1:4, без последующей фильтрации.

Проявление пластин производилось на автомате проявления 08ФП-125/100-003, скорость вращения v₁=700-1300 об/мин, v₂=2500-3500 об/мин, работы производились с фоторезистом ФП-9120. В результате проведенных работ получены следующие результаты:

• Время проявления пластин соответствует времени проявления 0,8% КОН, однако качество проявления УПФ-1Б намного лучше.
• Проявитель был опробован на 3-х микронных размерах

ОАО "Омский завод "Автоматика" г. Омск

При испытаниях были проведены следующие работы:

1. Приготовлены три рабочих раствора из концентрата проявителя УПФ-1Б для каждого вида фоторезиста (ФП-383, ФП-9120, ФП-РН-7С) согласно инструкции по применению, представленной изготовителем.

2. Проведены работы по проявлению фоторезистов ФП-383, ФП-9120, ФП-РН-7С на микрополосковых платах согласно действующему техпроцессу:

• одну часть плат с традиционным проявителем
• вторую часть плат с проявителем УПФ-1Б

Для пробных работ использовано по 3 бракованные платы с операции напыление

3. Произведена проверка качества проявления каждого вида фоторезиста визуально под микроскопом: качество микрополосковых плат соответствует требованиям конструкторской документации и технологического процесса.

• Качество проявления жидких позитивных фоторезистов ФП-383, ФП-9120, ФП-РН-7C универсальным проявителем УПФ-1Б хорошее.
• Использование концентрата универсального проявителя УПФ-1Б удобнее по сравнению с традиционным проявителем, так как для получения рабочего раствора концентрат необходимо разбавить в воде 1:(3-5) и можно сразу применять в отличие от традиционного проявителя, приготовление рабочего раствора которого занимает определенное время. В то же время значительных преимуществ в качестве изготовленных плат универсального проявителя УПФ-1Б не отмечено.

Рекомендовано применение универсального проявителя УПФ-1Б для проявления жидких позитивных фоторезистов ФП-383, ФП-9120, ФП-РН-7С при изготовлении микрополосковых плат.

ОАО "Центральное конструкторское бюро "Автоматика" г. Омск

Предложенный Вами проявитель УПФ-1Б был опробован для проявления фоторезиста ФП-383 (толщина пленки 0,7 мкм) при формировании фоторезистивной маски рисунка резисторов и рисунка проводящего слоя.

Концентрация проявителя была выбрана согласно Инструкции по применению (1:4)

В результате проведенных работ (протокол лабораторных испытаний от 19.05.2008 года) установленно:

• операция проявления визуально хорошо контролируется;
• край проявленного рисунка четкий, ровный, зазоры полностью свободны от фоторезиста;
• процесс проявления происходит равномерно по всей поверхности подложки;
• отклонения геометрических размеров рисунка фоторезистивной маски от геометрических размеров на фотошаблоне составляют (0-2) мкм;
• проявитель УПФ-1Б в лучшей степени, чем проявитель на основе натрия фосфорнокислого 12-водного удаляет фоторезист из пор поликора.

Вывод: целесообразно использовать проявитель УПФ-1Б для изготовления рисунка резистов и для формирования проводников и зазоров в проводящем слое меди толщиной (4,5-5) мкм с допуском на размер элементов 5 мкм.