 |
  |
|
   |
|
 |
||||
|
|
||||||||||||||
|
|
|
||||||||||||
|
||||||||||||||
|
|
||
|
|
|
|
Общепринято считать нано диапазоном интервал размеров элементов от 1 нм до 100 нм. Фоторезисты для нано электроники представляют собой позитивные фоторезисты для лазерной литографии с химическим усилением |
||
|
||
|
||
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|||||||||||
|
|||||||||||||
|
|
|
||||
|
 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
||||||||||||||
|
|
|
||||||||||||
|
||||||||||||||
|
|
||
|
|
|
|
Общепринято считать нано диапазоном интервал размеров элементов от 1 нм до 100 нм. Фоторезисты для нано электроники представляют собой позитивные фоторезисты для лазерной литографии с химическим усилением |
||
|
||
|
||
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|||||||||||
|
|||||||||||||
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|||