ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

ФП-3515 Microposit S1813 SP15

Фоторезист ФП-3515 является практически полным аналогом фоторезиста Microposit S1813 SP15. Оба фоторезиста предназначены для использования в стандартных процессах в производстве СБИС.

Сравнительная таблица характеристик

N п/п Характеристика Фоторезист отечественный ФП-3515 Фоторезист импортный Microposit S 1813 SP15
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость желто-коричневого цвета Жидкость желто-коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста блестящая без разрывов блестящая без разрывов
3 Уровень фильтрации 0,1 0,1
4 разрешающа способность, мкм * 0,5 * 0,5
5 Толщина пленки фоторезиста, мкм 1,5 ± 3% 1,5 ± 3%
6 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000 3000
7 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее >45 >45
8 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б, MF-26A MF 26A
9 Растворитель Метоксипропилацетат Метоксипропилацетат
10 Сниматель СПР-01Ф Remover SVC-14
11 Спектральная светочувствительность, нм 310 - 440 310 - 440
12 Содержание микропримесей металлов, ppb менее 100 менее 100

Примечание:

* При толщине 1,25 мкм, горячая плита

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG