ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

«ВЗПП-Микрон»

ОТЧЁТ ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ

ПО ОПРОБОВАНИЮ ФОТОРЕЗИСТА ФП-3515 (ООО» ФРАСТ-М»)

Проведено опробование фоторезиста ФП-3515. Получены следующие результаты:

1. Замер толщины фоторезиста проводился на MPV-SP. Результаты в таблице 1:

V2 1500 2500 4500 6000
1 2355 1800 1367 1134
2 2393 1811 1352 1175
3 2405 1823 1357 1163
4 23695 1793 1354 1160
5 2372 1836 1348 1153
среднее 2378,8 1812,6 1355,6 1157
разброс, нм 50 42 19 41
разброс, % 2,1 2,3 1,4 3,5

* толщина в нм

Значения толщин и разброс соответствует серийно используемому фоторезисту

2. 25 апреля 2018г. проведено нанесение фоторезиста на 9 пл. партии № 722 изделия серии TVS (фотогравировка "Р глубокий") в технологических режимах. (Т=1100C, 45")

3. Экспонирование проводилось на установке ЭМ-584А № 6. Подбор режимов дал следующие результаты:

ФП-3515 №№ 38 22 15 17 24 12 02 31 34
Экспозиция первого проявленого модуля 30
Экспозиция партии 36
неконтраст, % 40
Серийно используемый ф/р остальные
Экспозиция первого проявленого модуля 16
Экспозиция партии 20
неконтраст, % 12,5

Использование рекомендованного 1 % КОН показал улучшение светочувствительности и неконтраста:

26.05.18
партия № 804 Р глубокий ЭМ-584А № 5  
ФП-3515 № 31 33 17
первый проявленный модуль 45 1 % КОН
экспозиция на партии 55
неконтраст, % 20,0
Серийно используемый ф/р остальные
первый проявленный модуль 45 1 % КОН
экспозиция на партии 55
неконтраст, % 13.3

4. Полученная фотрезистивная маска удовлетворяет требованиям технологической карты выходного контроля.

5. Травление SiO2 (20´) прошло без отклонений.

6. Проведённый сравнительный анализ пористости плёнки дал следующие результат:

№ пластины Тип фоторезиста % кристаллов с КЗ (Uпр<8в) плотность пор на кв. см
7 ФП-3515 4,2 0,2
9 Серийно используемый ф/р 2,4 0,1

Выводы:

  • Фоторезист ФП-3515 соответствует серийно используемому и может быть использован при отсутствии последнего.
  • Окончательный вывод возможен после массового применения, в том числе и на КФЛ.

Подготовленно

Инженер-технолог I категории

Шомин Ю.И.

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG