По просьбе ряда предприятий радиоэлектронной промышленности России для обеспечения бесперебойности поставок фоторезиста
ФП-9120 мы усовершенствовали формулы и подготовили контрактное производство новой серии указанного фоторезиста:
- Фоторезист ФП-9120 экстра
ФП-9120 экстра - это высокоочищенная серия безметальных фоторезистов с толщинами пленок 1 мкм, 1,8 мкм и 2,0 мкм.
Отличительными особенностями фоторезиста ФП-9120 квалификации экстра являются расширенный срок гарантии -
до одного года и возможность хранения этого фоторезиста при температурах до минус 15 градусов Цельсия в течение одной недели
при транспортных перевозках.
Характеристики фоторезиста ФП-9120 экстра представлены в
таблице 1 и таблице 2, а также в новых технических условиях.
ФОТОРЕЗИСТ ПОЗИТИВНЫЙ ФП-9120 ЭКСТРА
![](pictures/fp9120ext.jpg)
ТУ 2378-016-29135749-2015.
Паспорт безопасности.
Цены на фоторезист ФП-9120 экстра несколько выше чем у обычного фоторезиста ФП-9120, однако,
расширенный срок гарантии, высокая чистота исходных материалов, отсутствие гелеобразных включений
в процессе хранения, увеличенный выход годных изделий делает применение этого фоторезиста предпочтительным.
Использование фоторезиста ФП-9120 экстра целесообразно в процессах производства СБИС,
где к качеству и надежности конечных полупроводниковых структур предъявляются особые требования.
Главным образом это отрасли космической и атомной промышленности.
|