УСИЛИТЕЛЬ АДГЕЗИИ ФОТОРЕЗИСТОВ СИЛ-А-01

Параметры усилителя адгезии СИЛ-А-01

Усилитель адгезии СИЛ-А-01 состоит из смеси растворителей гексаметилдисилазан (ГМДС) и метоксипропилацетат (МОП-ацетата). ГМДС является наиболее известным химическим соединением, увеличивающим адгезию фоторезиста при обработке поверхности подложки в парах , в токе азота при высокой температуре.

Смесь растворителей подобрана таким образом, что после обработки усилителем адгезии СИЛ-А-01 на поверхности подложки возникает мономолекулярный гидрофобный слой. Если использовать чистый ГМДС вместо СИЛ-А-01, то в идентичных условиях на поверхности подложки возникает толстый гидрофобный слой, который в дальнейших термических процессах фотолитографии разлагается с образованием газообразных продуктов, что приводит к отслаиванию пленки фоторезиста.

Преимущества:

1. Исключение затрат на закупку специального оборудования для силилирования подложки в паровой фазе;
2. Образование мономолекулярного гидрофобного слоя на поверхности подложки;
3. Стабильность воспроизведения элементов топологии;
4. Совместимость с позитивными и негативными фоторезистами;

Капля воды на поверхности окисла кремния

1. Фото 1. Необработанная реактивом СИЛ–A-01 окисленная пластина кремния. Пластина промыта, прогрета до 200 ⁰С и охлаждена до комнатной температуры. Видно, что капля воды растекается по поверхности подложки, что свидетельствует о высокой поверхностной энергии подложки. Адгезия пленки фоторезиста на такой поверхности может быть недостаточной.

2. Фото 2. Обработанная реактивом СИЛ–A-01 окисленная пластина кремния. Видно, что капля воды не растекается по поверхности. Поверхностная энергия подложки существенно снижена после обработки реактивом. Адгезия пленки фоторезиста будет высокой.


Инструкция по применению

1. Подложку промыть ацетоном и изопропиловым спиртом, либо очистить технологией RCA
2. Для удаления абсорбированной воды подложку прогреть при температуре 120⁰С в течение 10 минут на горячей плите или в конвекционном термошкафе при 120⁰С в течение 30 минут.
3. Подложку охладить и укрепить на центрифуге. Агент СИЛ-А-01 распределить на всю площадь подложку капельным или аэрозольным способом. После этого центрифугу привести во вращение при скорости примерно 3000 об/мин в течение 30 сек.
4. Затем подложку выдержать на горячей плите при температуре 120 ⁰С в течение 2 мин или в конвекционном термошкафу при 130 ⁰С в течение 10 мин; На этой стадии происходит силилирование поверхностных гидроксильных групп с образованием мономолекулярного гидрофобного слоя.
5. Перейти к нанесению фоторезиста сразу после охлаждения подложки и далее как обычно.

Используемое оборудование и материалы.

Усилитель адгезии СИЛ-А-01 совместим с оборудованием, используемым при работе с фоторезистом. Рекомендуемые материалы: нержавеющая сталь, стекло, керамика, ненаполненные полипропилен, полиэтилен высокой плотности, фторопласт-4 и сополимеры на его основе.

ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ! Усилитель адгезии СИЛ-А-01 является легковоспламеняющейся жидкостью. Гексаметилдисилазан реагирует с водой с образованием аммиака и гексаметилдисилоксана. Вреден при проглатывании. Предохранять от контакта с кожей и глазами. Не вдыхать. Хранить вдали от окислителей, источников открытого огня. Обращаться с осторожностью. При работе использовать защитные очки, перчатки резиновые, защитную одежду.

Условия хранения.

Хранить в сухом месте при 10÷20 ⁰С в плотно закрытой оригинальной упаковке вдали от окислителей, тепла и источника открытого огня. Не хранить под воздействием солнечного света. Не использовать после истечения срока годности - 6 месяцев. Свойства усилителя адгезии СИЛ-А-01 медленно ухудшаются при контакте с воздухом.

Утилизация.

Утилизируют усилитель адгезии СИЛ-А-01 вместе с фоторезистом и другими растворителями. Утилизация совместно с домашними отходами недопустима. Не допускать попадания в канализацию.

Внешний вид: Прозрачный раствор

Упаковка: стеклянная бутылка ёмкостью 1 литр

Технические условия на усилитель адгезии СИЛ-А-01
Паспорт безопасности на усилитель адгезии СИЛ-А-01