ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

Прайм-агент для обработки поверхности подложек перед нанесением жидких фоторезистов.

Усилитель адгезии СИЛ-А-01 состоит из смеси растворителей гексаметилдисилазан (ГМДС) и метоксипропилацетат (МОП-ацетата). ГМДС является наиболее известным химическим соединением, увеличивающим адгезию фоторезиста при обработке поверхности подложки в парах , в токе азота при высокой температуре.

Смесь растворителей подобрана таким образом, что после обработки усилителем адгезии СИЛ-А-01 на поверхности подложки возникает мономолекулярный гидрофобный слой. Если использовать чистый ГМДС вместо СИЛ-А-01, то в идентичных условиях на поверхности подложки возникает толстый гидрофобный слой, который в дальнейших термических процессах фотолитографии разлагается с образованием газообразных продуктов, что приводит к отслаиванию пленки фоторезиста.

Преимущества:

  1. Исключение затрат на закупку специального оборудования для силилирования подложки в паровой фазе;
  2. Образование мономолекулярного гидрофобного слоя на поверхности подложки;
  3. Стабильность воспроизведения элементов топологии;
  4. Совместимость с позитивными и негативными фоторезистами;

Инструкция по применению

  1. Подложку промыть ацетоном и изопропиловым спиртом, либо очистить технологией RCA
  2. Для удаления абсорбированной воды подложку прогреть при температуре 1200С в течение 10 минут на горячей плите или в конвекционном термошкафе при 1200С в течение 30 минут.
  3. Подложку охладить и укрепить на центрифуге. Агент СИЛ-А-01 распределить на всю площадь подложку капельным или аэрозольным способом. После этого центрифугу привести во вращение при скорости примерно 3000 об/мин в течение 30 сек.
  4. Затем подложку выдержать на горячей плите при температуре 120 0С в течение 2 мин или в конвекционном термошкафу при 130 0С в течение 10 мин; На этой стадии происходит силилирование поверхностных гидроксильных групп с образованием мономолекулярного гидрофобного слоя.
  5. Перейти к нанесению фоторезиста сразу после охлаждения подложки и далее как обычно.

Используемое оборудование и материалы.

Усилитель адгезии СИЛ-А-01 совместим с оборудованием, используемым при работе с фоторезистом. Рекомендуемые материалы: нержавеющая сталь, стекло, керамика, ненаполненные полипропилен, полиэтилен высокой плотности, фторопласт-4 и сополимеры на его основе.

ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ! Усилитель адгезии СИЛ-А-01 является легковоспламеняющейся жидкостью. Гексаметилдисилазан реагирует с водой с образованием аммиака и гексаметилдисилоксана. Вреден при проглатывании. Предохранять от контакта с кожей и глазами. Не вдыхать. Хранить вдали от окислителей, источников открытого огня. Обращаться с осторожностью. При работе использовать защитные очки, перчатки резиновые, защитную одежду.

Условия хранения.

Хранить в сухом месте при 10÷20 0С в плотно закрытой оригинальной упаковке вдали от окислителей, тепла и источника открытого огня. Не хранить под воздействием солнечного света. Не использовать после истечения срока годности - 6 месяцев. Свойства усилителя адгезии СИЛ-А-01 медленно ухудшаются при контакте с воздухом.

Утилизация.

Утилизируют усилитель адгезии СИЛ-А-01 вместе с фоторезистом и другими растворителями. Утилизация совместно с домашними отходами недопустима. Не допускать попадания в канализацию.

Внешний вид: Прозрачный раствор

Упаковка: стеклянная бутылка ёмкостью 1 литр

паспорт безопасности на усилитель адгезии СИЛ-А-01
---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG