АО "Государственный Рязанский Приборный Завод"

Представленный вами образец был опробован на задубленных пленках фоторезиста ФП-383. Режимы задубливания 120±5 ⁰C, 20±5 мин

Образец СПР-01Ф обеспечивает чистое снятие пленки фоторезиста аналогично диметилформамиду. Сминатель в процессе испытания не подогревался. Время снятия пленки 2-5 минут в зависимости от наличия отверстий и конфигурации платы.

Ижевский механический завод

Отчет по снимателю фоторезистов СПР-01Ф

ЗАО "НПП "Планета-Аргал"

Предоставленный Вами для испытания сниматель СПР-01Ф был опробыван для задубленных и незадубленных пленках фоторезистов S1813 , S1818, ФП-27-18БС, ФП-9120.

Незадубленные пленки фоторезистов хорошо удаляются в снимателе при комнатной температуре. Для задубленных пленок фоторезистов сниматель предварительно нагревали до температуры 100 ⁰ C. Полученные результаты по удалению пленок фоторезистов с подложки представленны в таблице:

Качество снятия пленок фоторезистов как по оксидной пленке, так и по металлам одинаково хорошее.

ФГУП "НПП "Пульсар" г. Москва

Сообщаем Вам результаты опробования снимателя для позитивных фоторезистов СПР-01Ф. Данный сниматель позволяет удалять все используемые нами резиста типа:

• Az 4533
• S1813
• ФП-383
• ЭЛП-20 - подогретый до 100 ⁰С
• ЭЛП-40 - подогретый до 100 ⁰С

Аналогичный результат у нас получается при использовании диметилформамида.

ФГУП "НПП "ИСТОК" г. Фрязино

Испытание снимателя СПР-01Ф проводились в условиях производства транзисторов и МИС на GaAs

Сниматель СПР-01Ф был опробован при снятии фоторезистов тина S 1818 и SPR-700 производства фирмы Rohm&Haas Electronic Materials, подвергавшихся перед снятием следующим обработкам:

1. Задубливание 120°С - 20мин, 150°С - 20мин.
2. Напыление металлизации при 80°С.
3. Гальваническое осаждение Au при 60°С.
4. Ионно-лучевое травление пленки металла.

При снятии таких резистов в диметилформамиде или чистом метилпирролидоне периодически возникали проблемы в связи с образованием на поверхности подложек трудноудаляемых пленок, ухудшающих внешний вид и оказывающих отрицательное влияние на выходные параметры приборов.

При использовании снимателя СПР-01Ф образование пленок не наблюдалось.

ОАО "Сатурн" г. Краснодар

Мы провели в лабораторных условиях предварительное опробование присланного Вашим предприятием снимателя СПР-01Ф, получили положительные результаты.

Опробование снимателя проводилось в лабораторных условиях на кремниевых и арсенид галлиевых подложках, имеющих оксидную и металлизированную поверхность.

Испытания проводились позитивных фоторезистах ФП-383, ФП-9120, ФП-4-04Т

Незадубленные пленки фоторезистов хорошо удаляются в снимателе при комнатной температуре.

Результаты по удалению термозадубленных фоторезистов представлены в таблице.

После снятия фоторезиста пластины имеют чистую поверхность (при визуальном контроле). Подслой SiO₂- не нарушается

У снимателя СПР-01Ф отсутствует резкий неприятный запах, характерный для ДМФА.

ФГУП "Федеральный НПЦ "Радиоэлектроника" им.. В.И. Шимко г. Казань

Сообщаем Вам результаты опробования снимателя для позитивных фоторезистов СПР-01Ф. Опробование снимателя проводилось в производстве тонкопленочных плат на поликоровых подложках на задубленных пленках фоторезиста ФП-383. Сниматель предварительно нагревали до температуры 100⁰C. Полученные результаты представлены в таблице:

Аналогичный результат у нас получается при использовании в качестве снимателя раствора диметилформамида и моноэтаноламина (соотношение 1:1). Сниматель СПР-01Ф менее токсичен и оказывает менее раздражающее действие на органы дыхания