|
ООО "НПП "ИНЖЕКТ" г. Саратов
Отчет об испытании фоторезиста ФП-9120-1,0 экстра
Для контактной фотолитографии был использован фоторезист ФП-9120-1,0 экстра на различных тестовых пластинах
- арсенид галлия;
- арсенид галлия с нанесенным диэлектрическим покрытием оксида алюминия;
- арсенид галлия с нанесенными пленками титана и золота.
Результаты испытания показали следующие результаты:
Адгезия пленки фоторезиста к поверхности тестовых пластин очень хорошая, пленка эластичная,
без разрывов и включений, равномерная, ее толщина соответствует заявленной производителем для ФП-9120-1,0
и равна 1,0-1,1 мкм
Максимальная устойчивость пленки к проявителю не исследовалась, т.к. основное время проявления для наших
образцов колеблется от 30 до 60 сек.
Для проявления испльзовался буферный прявитель УПФ-1Б, успешно уже освоенный на нашем предприятии.
Задубленная (1250, 15 мин, ИК-сушка) пленка устойчива к травителям, использованным для данных тестовых пластин.
Величина подтрава пленок оксида алюминия, золота и титана в пределах допустимых значений.
Выводы:
По результатам испытаний, проведенных на нашем предприятии, фоторезист ФП-9120-1,0 экстра
может быть использован в производстве приборов на основе арсенида галлия.
Главный технолог Козырев А.А.
|
