ИНСТРУКЦИЯ ПО ПРИМЕНЕНИЮ СНИМАТЕЛЯ СПР-01Ф

СТАДИЯ СНЯТИЯ ПЛЕНКИ ФОТОРЕЗИСТА ЯВЛЯЕТСЯ ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ВАЖНОЙ.

Неаккуратное снятие пленки фоторезиста приводит к образованию дефектов и снижению выхода годных изделий.

Сниматель пленок резистов в производстве полупроводниковых структур должен соответствовать определенным требованиям:

1. Разрыхлять сильно структурированную пленку.
2. Хорошо растворять компоненты структурированной пленки, не оставлять следов нерастворенных веществ на подложке.
3. Не реагировать с нанесенным металлом.
4. Обеспечивать возможность нагрева раствора до высоких температур.
5. Иметь уровень фильтрации не хуже 1 мкм

В отечественной микроэлектронике для снятия пленок позитивных фоторезистов используются в основном три типа устаревших снимателей:

• концентрированный раствор щелочи, например 3% водный раствор NaOH
• ацетон
• N,N-диметилформамид

Нежелательно в качестве снимателя использовать раствор щелочи. Такой раствор является плохим растворителем для фоторезиста и оставляет трудноудаляемые следы пленки на подложке.

Нежелательно в качестве снимателя использовать легкокипящие растворители. Ацетон имеет низкую вязкость, взвесь фоторезиста оседает в ацетоне быстро и на подложке остаются трудноудаляемые, не растворившиеся следы пленки.

Нежелательно в качестве снимателя использовать N,N диметилформамид. Для снятия задубленной пленки фоторезиста N,N-диметилформамид обычно нагревают. При небольшом нагреве N,N-диметилформамида в воздухе образуются высокие концентрации паров этого растворителя, что ощущается по сильному запаху. Эти пары крайне опасны!

Ниже выдержка из сертификата безопасности на растворитель N,N-диметилформамид:

MSDS РАЗДЕЛ 3: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:

МУТАГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: является мутагеном для клеток млекопитающих.

ТЕРАТОГЕННОЕ ДЕЙСТВИЕ - воздействует на эмбриональное развитие плода. Классифицируется как токсин для репродуктивной женской системы и возможно для репродуктивной мужской системы.

ДИМЕТИЛФОРМАМИД является ядом для крови, почек, печени, центральной нервной системы. Длительное воздействие этого химиката на человека может привести к повреждениям органов.

По указанным причинам N,N-диметилформамид запрещен для использования на предприятиях электроники на Западе.

Сниматель СПР-01Ф гарантирует эффективное удаление пленки фоторезиста с подложки с помощью процедуры четырех ванн в соответствии с инструкцией.

Инструкция по работе со снимателем СПР-01Ф

Методика снятия пленки фоторезиста должна гарантировать полное удаление.

Процедура четырех ванн

Методика снятия пленки фоторезиста должна гарантировать полное удаление следов полимерной взвеси. Как правило, используют, так называемую, четырех ванную процедуру:

В первую и вторую ванны наливается сниматель СПР-01Ф. В первой ванне удаляется основной объем пленки фоторезиста. Во второй ванне удаляются с подложки все следы фоторезиста. Когда первая ванна насыщается взвесью снятых пленок фоторезистов, ванну ополаскивают, в нее заливается свежий раствор снимателя СПР-01Ф, ванны N1 и N2 меняются местами.

В третью ванну наливается изопропиловый спирт класса электронной чистоты. В четвертую ванну наливается деионизованная вода.

Подложка ополаскивается в изопропиловом спирте в третьей ванне, далее подложка ополаскивается деионизованной водой в четвертой ванне и сушится.

Условия безопасной работы со снимателем СПР-01Ф аналогичны условиям работы с органическими растворителями.

Сниматель СПР-01Ф с можно использовать:

• с отечественными позитивными фоторезистами ФП-383, ФП-25, ФП-4-04 (А,В,С), ФПН-20-ИЗО, ФП-201, ФП-10Ф.ФП-20Ф, ФП-9120 (1,2,3), ФП-2550 и другими. с импортными позитивными фоторезистами серии S1800 (всех модификаций) SPR-220 (различных толщин), серии SPR-3000, SPR-955 (различных толщин), серии AZ-1500, серии AZ-4500, HiPR 6500 и другими.