НУЖНЫ ЛИ ИМПОРТНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ ОТЕЧЕСТВЕННЫМ ПРЕДПРИЯТИЯМ?

Нужны ограниченно. В основном это касается фоторезистов для лазерной литографии.

Обычный уровень разрешения элементов полупроводниковых изделий на отечественных предприятиях редко превышает 1-2 мкм. Очень часто для этих целей используются особочистые фоторезисты серии Microposit S1800 (фирмы Dow, США), с уровнем очистки от примесей металлов до нескольких миллиардных частей.

В условиях существующих санкций экспорт фоторезистов класса Microposit S1800 в Россию возможен только по специальным разрешениям на каждый контракт поставки. Незамедлительно цены на эти фоторезисты для нашей страны подскочили более чем в два раза.

Печальный опыт торговой войны Японии и Кореи показал, что поставки импортных фоторезистов в нашу страну могут в любой момент вообще прекратиться.

Возникает вопрос: нужны ли нам фоторезисты такого уровня очистки от металлов? Ведь нередко для проявления этих фоторезистов используется обычные растворы гидроксида натрия или калия, что делает вообще бессмысленным применение безметальных фоторезистов класса Microposit S1800.

Если проводить аналогию с сельскохозяйственными работами, то использование импортных фоторезистов подобно перевозке урожая картофеля на легковом автомобиле Mercedes. Между тем, если автомобиль Мерседес застрянет на картофельном поле, то перевозить урожай будет нечем.

Независимые испытания показали, что есть отечественный аналог фоторезиста Microposit S1813. Но он увы никому не нужен.

Фундамент микроэлектроники – отечественное производство химических материалов без государственной поддержки постепенно исчезает.