НОВОСТИ КОМПАНИИ
Сниматели краевого бортика СКБ-01Ф и СКБ-02Ф
При нанесении жидкого фоторезиста на пластину центрифугированием на краю пластины обычно образуется «бортик». Особенно это касается толстослойных, высоковязких резистов. Толщина бортика может трехкратно превышать толщину пленки в центре пластины.
Помимо этого, резист часто затекает на обратную сторону пластины. Эти отклонения от однородности толщины пленки резиста представляют проблемы почти для всех последующих операций. Избыточная толщина резиста на лицевой стороне подложки будет неконтролируемо влиять на размеры элементов резиста при проявлении. Еще больше проблем вызывает присутствие резиста на обратной стороне подложки. В результате затекания резиста на обратную сторону пластины будет наблюдаться плохое выравнивание пластины и загрязнение резистом трека экспонирования. Решением этих проблем является удаление краевого бортика с помощью специального снимателя.
Существует два способа удаления краевого бортика:
1. Дозирование снимателя на краевой бортик с лицевой стороны подложки с помощью специального носика при одновременном вращении подложки с резистом. При этом будут полностью химически удалены краевые бортики с верхней и нижней сторон. Недостатком этого метода является появление дефектов на пленке резиста в результате неконтролируемых процессов разбрызгивания и распыления снимателя в процессе вращения. Этот способ приемлем, если удаляется краевой бортик шириной 4-5 мм.
2. Экспонирование краевого бортика с лицевой стороны и химическое удаление натека резиста растворением с нижней стороны. Преимуществами этой технологии является отсутствие дефектов на пленке по сравнению с первым методом, а также точный контроль за зоной экспонирования краевого бортика, что позволяет уменьшить ширину удаляемого бортика до 2 мм. Главным недостатком этого метода является тот факт, что он пригоден только для светочувствительных пленок. Если используется антиотражающее покрытие под резистом, то данное покрытие приходится удалять дополнительно химическим способом.
Сниматели краевого бортика СКБ-01Ф и СКБ-02Ф используются для удаления бортика резиста, в отсутствии и соответственно в присутствии антиотражающего покрытия.
