ИНТЕГРАЛЬНАЯ ОПТИКА

Бурное развитие IT технологий во многом обусловлено высокой эффективностью волоконно-оптических и интегрально- оптических устройств. В производстве интегрально-оптических устройств ключевое место занимают стандартные фотолитографические процессы с использованием позитивных фоторезистов:

Фоторезист ФП-05Ф, ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф (ТУ Ф-11533389-0-2002)

Предназначен для реализации контактных и проекционных фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.