Фоторезисты являются идеальными средами для записи тонкослойных, рельефных, фазовых голограмм. Для записи голограмм используются как позитивные, так и негативные фоторезисты. Позитивные фоторезисты, в силу своей химической структуры, обеспечивают большую разрешающую способность, чем негативные фоторезисты.
Недостатком позитивных фоторезистов является малая их светочувствительность в видимой области спектра, что не позволяет использовать дешевые лазеры, излучающие в видимой области. Ярким, практическим применением фоторезистов в голографии является изготовление эталонного, никелевого мастер - диска без которого невозможно промышленное тиражирование cd и dvd дисков.
В существующих на рынке импортных установках по изготовлению мастер - диска применяются в основном две марки фоторезистов Microposit S1813 и Microposit S1818 в комплекте с проявителем, разбавителем и снимателем. Эти материалы можно успешно заменить отечественными аналогами фоторезиста, разбавителя, проявителя и снимателя
Фоторезист ФП-051Шу (ТУ 2378-012-29135749-2010)
Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве фотошаблонов, для изготовления предварительно очувствленных заготовок фотошаблонов. Может использоваться в качестве защитного светочувствительного материала в фотолитографических процессах при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем, металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат и др.
ТУ 2378-012-29135749-2010 на ФП-051Шу в формате PDF
Фоторезист ФП-05Ф, ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф (ТУ Ф-11533389-0-2002)
Предназначен для реализации контактных и проекционных фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
ТУ Ф-11833391-0-2006 на ФП-05Ф - ФП-20Ф с изм. 1 в формате PDF
