Фоторезист ФП-9120 эко
Фоторезист относится к классу экологически безопасных для персонала и окружающей среды.
Изготовлен на основе экологически безопасного растворителя 1-метокси-2-пропилацетата.
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Прозрачная жидкость желто-коричневого цвета без осадка |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
Гладкая без разрывов |
| 3 |
Кинематическая вязкостьпри темпиратуре 20±0,50С |
13-17 |
35-43 |
39-47 |
| 4 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
1,1-1,3 |
1,7-1,9 |
1,9-2,3 |
| 5 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю не менее, мин |
>30 |
>30 |
>30 |
| 6 |
Разрешающая способность, мкм |
1,0 |
1,0 |
2,0 |
| 7 |
Уровень фильтрации, мкм |
0,2 |
| 8 |
Содержание микропримесей металлов, % |
10-3 |
| 9 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б (разбавление (1:4) |
| 10 |
Рекомендуемый сниматель |
СПР-01Ф |
| 11 |
гарантийный срок хранения, месяцев |
12 |
Область применения: Фоторезист ФП-9120 ЭКО предназначен
для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых структур
|
