ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

Фоторезист ФП-051Шу (ТУ 2378-012-29135749-2010)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве фотошаблонов, для изготовления предварительно очувствленных заготовок фотошаблонов. Может использоваться в качестве защитного светочувствительного материала в фотолитографических процессах при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем, металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат и др.

No Характеристики Норма
ФП-051Шу-0,5 ФП-051Шу-1,0
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость темно-красного цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
3 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 6,0-11,0 11,0-21,0
4 Разрешающая способность, мкм, не более 0,5 0,8
5 Толщина пленки фоторезиста, мкм 0,5-0,6 1,0-1,1
6 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 25,0 30,0
7 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б 

ТУ 2378-012-29135749-2010 на ФП-051Шу в формате PDF

Фоторезист ФП-05Ф, ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф (ТУ Ф-11533389-0-2002)

Предназначен для реализации контактных и проекционных фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

No Характеристики Норма
ФП-05Ф ФП-10Ф ФП-15Ф ФП-20Ф
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость темно-красного цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без радиальных полос
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 0,01 (г-1) 0,01 (г-1) 0,01 (г-1) 0,01 (г-1)
4 Массовая доля воды, в процентах, не более 1,0 1,0 1,0 1,0
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 0,5 0,8 1,2 1,8
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 0,45-0,55 1-1,1 1,5-1,6 2,0-2,1
7 Кинематическая вязкость, сСт 6,0-11,0 11,0-21,0 15,0-35,0 21,0-41,0
8 Термостойкость, град.Цельсия 140,0 140,0 140,0 140,0
9 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 25,0 30,0 30,0 30,0
10 Локальная разнотолщинность пленки, нм, не более 10 10 10 10
11 Светочувствительность, мдж/см2, не более 40 50 65 80
12 Адгезия фоторезиста по 2 мкм. элементу хорошая
13 Проявитель УПФ-1Б

ТУ Ф-11833391-0-2006 на ФП-05Ф - ФП-20Ф с изм. 1 в формате PDF

 

 

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG