По просьбе ряда предприятий радиоэлектронной промышленности России для обеспечения бесперебойности поставок фоторезиста ФП-9120 мы усовершенствовали формулы и подготовили контрактное производство новой серии указанного фоторезиста:

• Фоторезист ФП-9120 экстра

ФП-9120 экстра - это высокоочищенная серия безметальных фоторезистов с толщинами пленок 1 мкм, 1,8 мкм и 2,0 мкм. Отличительными особенностями фоторезиста ФП-9120 квалификации экстра являются расширенный срок гарантии - до одного года и возможность хранения этого фоторезиста при температурах до минус 15 градусов Цельсия в течение одной недели при транспортных перевозках.

Характеристики фоторезиста ФП-9120 экстра представлены в таблице 1 и таблице 2, а также в новых технических условиях.

ФОТОРЕЗИСТ ПОЗИТИВНЫЙ ФП-9120 ЭКСТРА

ТУ 2378-016-29135749-2015.

Паспорт безопасности.

Цены на фоторезист ФП-9120 экстра несколько выше чем у обычного фоторезиста ФП-9120, однако, расширенный срок гарантии, высокая чистота исходных материалов, отсутствие гелеобразных включений в процессе хранения, увеличенный выход годных изделий делает применение этого фоторезиста предпочтительным.

Использование фоторезиста ФП-9120 экстра целесообразно в процессах производства СБИС, где к качеству и надежности конечных полупроводниковых структур предъявляются особые требования. Главным образом это отрасли космической и атомной промышленности.