 |
  |
|
   |
|
 |
||||
|
|
||||||||||||||
|
|
|
||||||||||||
|
||||||||||||||
|
|
||
|
|
|
Спектр поглащения позитивных фоторезистовСпектры поглощения позитивных фоторезистов на основе нафтохинондиазидов качественно одинаковы в области длин волн 350-450 нм.На рисунке представлен стандартный спектр поглощения позитивных фоторезистов на примере фоторезиста ФП-383. Спектр поглощения фоторезиста наложен на спектр излучения ртутной лампы среднего давления. Линии излучения ртутных ламп высокого и сверхвысокого давления несколько уширены, но максимумы сохраняются. 
|
||
|
||
|
||
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|||||||||||
|
|||||||||||||
|
|
|
||||
|
 |
|
|
|
|
|
|||