ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

Разбавители позитивных фоторезистов

Соответствие фоторезистов и разбавителей.
ТУ-2378-009-29135749-2008 с извещениями № 1 и № 2.

Марка разбавителя Марки отечественных фоторезистов Марки импортных фоторезистов
1 Сольвент РПФ-У ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф, ФП-М-09, ФП-РН-7С, ФП-4-04, ФП-051Шу, ФП-9120
2 Сольвент РПФ-МФ ФП-2506 - ФП-3535 Серия S 1800, серия AZ 1500, серия AZ 6600, серия AZ 4500, серия AZ 9200
3 Сольвент РПФ-383Ф ФП-383  
4 Сольвент РПФ-25Ф ФП-25, ФП-201, ФП-4-04Т  
5 Сольвент РПФ-Cэ ФП-РН-7Сэ  
6 Сольвент РПФ-9120Ф ФП-9120  
7 Сольвент РПФ-9120Э ФП-9120 экстра  
8 Сольвент РПФ-2550Ф ФП-2550  
9 Сольвент РПФ-250Э ФП-2550 экстра  
10 Сольвент РНФ-ОК-1 ФН-11СКн, ФН-11Сн, ФН-11С-ФД  
11 Сольвент РНФ-ОК-2 ФН-11С-МФ  

Параметры разбавителей

Марка разбавителя Внешний вид Уровень микрофильтрации, мкм Содержание микропримесей металлов, ppm
1 Сольвент РПФ-У Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
2 Сольвент РПФ-МФ Бесцветная жидкость 0,2 1
3 Сольвент РПФ-383Ф Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
4 Сольвент РПФ-25Ф Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
5 Сольвент РПФ-Сэ Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
6 Сольвент РПФ-9120ФУ Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
7 Сольвент РПФ-9120Э Бесцветная жидкость 0,2 1
8 Сольвент РПФ-2550Ф Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
9 Сольвент РПФ-250Э Бесцветная жидкость 0,2 1
10 Сольвент РНФ-ОК-1 Бесцветная жидкость 0,2 Не нормируется
11 Сольвент РНФ-ОК-2 Бесцветная жидкость 0,2 1

Область применения: Разбавители позитивных фоторезистов используются для уменьшения толщины пленки позитивных фоторезистов. Уровень микрофильтрации этих разбавителей составляет 0,2 мкм.

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG