ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---
 

Разбавление фоторезиста практикуется с целью уменьшения толщины пленки фоторезиста на подложке. Хотя производители фоторезистов обычно предлагают серию фоторезистов одной и той же марки с различными толщинами пленок, тем не менее, иногда приходится прибегать к разбавлению фоторезиста. В этом случае используется разбавитель, пригодный для данной марки фоторезиста.

  1. Не изменять при разбавлении соотношение смеси растворителей, входящих в состав фоторезиста.
  2. Содержать необходимые аддитивы для сохранения реологических свойств разбавленного фоторезиста (розлив, разнотолщинность пленки, удаление пузырьков воздуха).
  3. Уровень фильтрации разбавителя должен соответствовать уровню фильтрации фоторезиста.

В общем случае разбавитель должен удовлетворять следующим условиям:

Марка разбавителя Марки отечественных фоторезистов Марки импортных фоторезистов
Сольвент РПФ-У ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф, ФП-М-09, ФП-РН-7С, ФП-4-04, ФП-051Ш, ФП-9120 Серия S1800, Серия AZ-1500, Серия AZ-6600
Сольвент РПФ-383 ФП-383  
Сольвент РПФ-25 ФП-25, ФП-201, ФП-4-04Т  
Сольвент РПФ-Cэ ФП-РН-7Сэ  

Мы предлагаем перечень разбавителей пригодных для уменьшения толщины пленки различных позитивных фоторезистов, как отечественных, так и импортных:

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG