|
||||||||||||||
Рекомендации по работе с ФП-383Один из лучших позитивных фоторезистов для процессов жидкостного травления в микроэлектронике. Превосходит по устойчивости в жидкостных травителях все существующие на рынке отечественные и импортные фоторезисты. Обладает высокой адгезией ко всем полупроводниковым и металлическим поверхностям. Не требует обработки поверхности промотором адгезии. Фоторезист может использоваться как для контактной, так и для проекционной фотолитографии. Имеет превосходный контраст и светочувствительность. Рекомендации по применению Подготовка поверхности Для удаления воды с поверхности подложку следует непосредственно перед нанесением фоторезиста прогреть при 200 0С в течение 30 минут и охладить до комнатной температуры. Условия применения: Нанесение
Толщина пленки фоторезиста в зависимости от скорости вращения:
Предварительная сушка Рекомендуются сушка в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 95 0С, с контролем температуры в пределах + 1 0С. Время выдержки: 30 мин. На промышленных линиях фотолитографии следует подобрать скорость и температуру конвейера так, чтобы обеспечить условия, эквивалентные конвекционному термошкафу. Экспонирование Экспонирование ультрафиолетовой лампой в диапазоне 350-450 нм. Проявление Рекомендуется проявитель УПФ-1Б для максимального контроля над процессом. Термообработка после проявления Термообработка необходима для увеличения стойкости пленки фоторезиста в процессах жидкостного и сухого травления. Рекомендуются термозадубливание в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 120 - 125 0С. Время выдержки: 30 мин. Для более сильных травителей возможно повышение температуры задубливания до 145 0С. Удаление Для удаления пленки фоторезиста ФП-383 рекомендуется экологически безопасный сниматель СПР-01Ф или кислородная плазма. Меры предосторожности В соответствии с сертификатом безопасности.Хранение Хранить в сухом помещении при температурах 10-21 0С в закрытых коричневых стеклянных бутылках. Гарантийный срок хранения - 12 месяцев от даты розлива. |
||
|
|||||||||||||
|
||||