|
Инструкция по применению
Проявитель ПГФ-1А является концентратом. Для работы проявитель необходимо
разбавить дистиллированной или деионизованной водой в соотношении указанном в таблице.
Таблица 1
Степень разбавления проявителя ПГФ-1А для работы с позитивными фоторезистами.
| 1 |
ФП-4-04мА |
1 |
3 |
| 2 |
ФП-051-Шу-0,5 |
1 |
3 |
| 3 |
ФП-05Ф |
1 |
3 |
| 4 |
S 1805 |
1 |
3 |
| 5 |
S 1809 |
1 |
3 |
| 6 |
AZ 1505 |
1 |
3 |
| 7 |
SPR 955-0,7CM |
1 |
4 |
| 8 |
SPR 955-0,9CM |
1 |
4 |
Проявитель ПГФ-1А - по пожароопасности и гигиеническим характеристикам является аналогом
"стандартного" проявителя (раствора КОН) для производств микроэлектроники
Указания по хранению.
Проявитель хранят в упакованном виде в сухом помещении при 15÷25 0С и относительной
влажности воздуха 45÷80%. Следует предохранять проявитель от попадания влаги, механических и прочих примесей.
Документация:
Паспорт безопасности
|
