|
Проявитель безметальный для позитивных фоторезистов П-238-МФ
Параметры проявителя П-238-МФ. Поставляется по протоколу испытаний.
Импортный аналог AZ-326 MIF
| 1 |
Внешний вид |
Прозрачная, бесцветная жидкость |
| 2 |
Концентрация раствора, моль/литр |
0,262 |
| 3 |
Уровень фильтрации, мкм |
0,2 |
| 4 |
Суммарное содержание примесей металлов, ppm |
Менее 1 |
Проявитель П-238-МФ изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH).
Используется проявитель П-238-МФ для проявления как отечественных, так и импортных
позитивных фоторезистов с низким содержанием примесей металлов. Применение проявителя
П-238-МФ критически важно при использовании плазмохимических процессов при травлении подложки.
Технические условия на безметальный проявитель
|
