|
Проявитель безметальный для позитивных фоторезистов П-238А-МФ
Параметры проявителя П-238А-МФ. Поставляется по протоколу испытаний.
Импортный аналог AZ-726 MIF
| 1 |
Внешний вид |
Прозрачная, бесцветная жидкость |
| 2 |
Концентрация раствора, моль/литр |
0,262 |
| 3 |
Уровень фильтрации, мкм |
0,2 |
| 4 |
Суммарное содержание примесей металлов, ppm |
Менее 1 |
Проявитель П-238А-МФ изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH).
В состав проявителя П-238А-МФ введено поверхностно – активное вещество для улучшения
смачивания пленки фоторезиста проявителем. Используется проявитель П-238А-МФ
для проявления как отечественных, так и импортных позитивных фоторезистов с низким
содержанием примесей металлов. Применение проявителя П-238А-МФ критически важно
при использовании плазмохимических процессов при травлении подложки.
Технические условия на безметальный проявитель
|
