|
Проявитель безметальный для позитивных фоторезистов П-236А-МФ
Параметры проявителя П-236А-МФ. Поставляется по протоколу испытаний.
Импортный аналог MF-26A (Dow)
| 1 |
Внешний вид |
Прозрачная, бесцветная жидкость |
| 2 |
Концентрация раствора, моль/литр |
0,259 |
| 3 |
Уровень фильтрации, мкм |
0,2 |
| 4 |
Суммарное содержание примесей металлов, ppm |
Менее 1 |
Проявитель П-236А-МФ изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH).
В состав проявителя П-236А-МФ введено поверхностно – активное вещество для улучшения
смачивания пленки фоторезиста проявителем. Используется проявитель П-236А-МФ для проявления
как отечественных, так и импортных позитивных фоторезистов с низким содержанием примесей металлов.
Применение проявителя П-236А-МФ критически важно при использовании плазмохимических процессов
при травлении подложки.
Технические условия на безметальный проявитель
|
