ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---
 

ООО "НПП "ИНЖЕКТ" г. Саратов

Отчет об испытания фоторезиста ФП-9120-1,0 экстра

Для контактной фотолитографии был использован фоторезист ФП-9120-1,0 экстра на различных тестовых пластиках

  • арсенид галлия
  • арсенид галлия с нанесенным диэлектрическим покрытием оксида
  • арсенид галлия с нанесенными пленками титана и
Результаты испытания показали следующие результаты:

Адгезия пленки фоторезиста к поверхности тестовых пластин очень хорошая, пленка эластичная, без разрывов и включений, равномерная, ее толщина соответствует заявленной производителем для ФП-9120-1,0 и равна 1,0-1,1 мкм

Максимальная устойчивость пленки к проявителю неисследовалась, т.к. основное время проявления для наших образцов колеблется от 30 до 60 сек.

Для проявления испльзовался буферный прявитель УПФ-1Б, успешно уже освоенный на нашем предприятии.

Задумленная (125 0, 15 мин, ИК-сушка) пленка устойчива к травителям, использованным для данных тестовых пластин.

Величина подтрава пленок оксида алюминия, золота и титана в пределах допустимых значений.

Выводы:

По результатам испытаний, проведенных на нашем предприятии, фоторезист ФП-9120-1,0 экстра может быть использован в производстве приборов на основе арсенида галлия.

Главный технолог Козырев А.А.

---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG