|
Фоторезисты ФП-3520 и Microposit S1818 SP16 предназначены для использования в стандартных
процессах в производстве СБИС. Оба фоторезиста так же могут использоваться в производстве мастер-дисков.
Сравнительная таблица характеристик
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость желто-коричневого цвета |
Жидкость желто-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
блестящая без разрывов |
блестящая без разрывов |
| 3 |
Уровень фильтрации |
0,2 |
0,2 |
| 4 |
разрешающа способность, мкм |
* 0,5 |
* 0,5 |
| 5 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
2,0 ± 3% |
2,0 ± 3% |
| 6 |
Число оборотов при нанесении, об/мин |
3000 |
3000 |
| 7 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее |
>45 |
>45 |
| 8 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б, MF-26A |
MF 26A |
| 9 |
Растворитель |
Метоксипропилацетат |
Метоксипропилацетат |
| 10 |
Сниматель |
СПР-01Ф |
Remover SVC-14 |
| 11 |
Спектральная светочувствительность, нм |
310 - 440 |
310 - 440 |
| 12 |
Содержание микропримесей металлов, ppb |
менее 100 |
менее 100 |
Примечание:
* При толщине 1,25 мкм, горячая плита
|
