ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

ФП-2514 AZ-1512HS

Фоторезист ФП-2514, также как AZ 1512HS предназначены для жидкостных процессов травления, где важное значение имеет адгезия пленки. Оба фоторезиста изготовлены с добавкой низкомолекулярной новолачной смолы, имеют высокую адгезию и контраст. Эти фоторезисты могут широко использоваться в производстве биполярных полупроводниковых структур.

Сравнительная таблица характеристик

N п/п Характеристика Фоторезист отечественный ФП-2514 Фоторезист импортный AZ 1512HS
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость желто-коричневого цвета Жидкость желто-коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста блестящая без разрывов блестящая без разрывов
3 Уровень фильтрации 0,2 0,2
4 Толщина пленки фоторезиста, мкм 1.4 ± 3% 1.4 ± 3%
5 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000 3000
6 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее >45 >45
7 Рекомендуемый проявитель AZ 726 MIF AZ 726 MIF
8 Растворитель Метоксипропилацетат Метоксипропилацетат
9 Сниматель СПР-01Ф AZ 100 Remover
10 Спектральная светочувствительность, нм 310 - 440 310 - 440
11 Содержание микропримесей металлов, ppb менее 100 менее 100
---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG