ФРАСТ-МЗакрытое Акционерное Общество НачалоОтправить письмо
---
---
|
|
---

Фоторезисты ФП-2550 и ФП2550 экстра

Фоторезист ФП-2550 (ТУ 20.59.12-019-18567185-2018)

Область применения:Толстослойный фоторезист ФП-2550 предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых интегральных приборов и микросхем с глубинным травлением германия и кремния, а также для гальванического осаждения металлов.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-коричневого цвета
2 Разрешающая способность, мкм, не более 20,0
3 Толщина пленки фоторезиста, мкм 5÷7
4 Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт 52÷75
5 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин 7,0
6 Уровень фильрации, мкм 0,5
7 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б
8 Рекомендуемый сниматель СПР-01Ф
9 Гарантийный срок хранения, мес 6

Паспорт безопасности
ТУ на ФП-2550 в формате PDF

Фоторезист ФП-2550 экстра (ТУ 20.59.12-021-18567185-2018)

Область применения: Высокая степень очистки компонентов фоторезиста ФП-2550 экстра позволяет использовать его в процессах производства полупроводниковых структур, где к качеству и надежности предъявляются особые требования. Гарантийный срок хранения фоторезиста ФП-2550 экстра в два раза выше, чем у фоторезиста ФП-2550.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая, без разрывов20,0
3 Разрешающая способность, мкм, не более 10,0
4 Толщина пленки фоторезиста, мкм 5÷8
5 Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт 150÷260
6 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин 30,0
7 Уровень фильрации, мкм 0,5
8 Содержание примесей металлов, % 10 -4
9 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б, П-217А-МФ
10 Рекомендуемый сниматель СПР-01Ф
11 Гарантийный срок хранения, мес 12

Паспорт безопасности
ТУ на ФП-2550 экстра в формате PDF
---
|
|
---
---
Plant.ruTopListSpyLOG