Фоторезист ФП-201 эко
Фоторезист относится к классу экологически безопасных для персонала и окружающей среды.
Изготовлен на основе экологически безопасного растворителя 1-метокси-2-пропилацетата.
Гарантийный срок хранения увеличен в 2 раза и составляет 12 месяцев.
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость красно-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
Блестящая без разрывов |
| 3 |
Разрешающая способность, мкм, не более |
15,0 |
| 4 |
Уровень фильрации, мкм |
0,5 |
| 5 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
6÷8 |
| 6 |
Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт |
230÷295 |
| 7 |
Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин |
20,0 |
| 8 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б (1:5) |
| 9 |
Рекомендуемый сниматель |
СПР-01Ф |
| 9 |
Гарантийный срок хранения, мес |
12 |
Область применения: Толстослойный фоторезист ФП-201 ЭКО предназначен для реализации
фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых интегральных приборов
и микросхем с глубинным травлением германия и кремния, а также для гальванического осаждения металлов.
|
