СНИМАТЕЛЬ НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ
ФОРСАН-2 (ТУ 2481-026-56856807-02)
Сниматель Форсан-2 представляет собой смесь алкилбензола и алкилбензолсульфокислоты со следующими параметрами:
| 1 |
Внешний вид |
Темно-коричневая жидкость |
| 2 |
Массовая доля алкилбензола, % |
72,0-79,0 |
| 3 |
Массовая доля алкилбензолсульфокислоты,% |
20,0-27,0 |
| 4 |
Массовая доля сульфатов и сульфитов в пересчете на серную кислоту, %, не более |
0,4 |
| 5 |
Массовая доля воды, %, не более |
0,3 |
Сниматель Форсан-2 используется для снятия пленок негативных фоторезистов,
типа ФН-11Сн, ФН-11СКн, ФН-11С-ФД, структурированных при высоких температурах.
Допускается нагрев снимателя Форсан-2 то температур не выше 140 0С.
|
